Pregled proizvoda
Ovaj magnetronski sustav raspršivanja napravljen je za taloženje metalnog tankog filma u proizvodnji poluvodiča. Široko se koristi u integriranim krugovima, uređajima za napajanje i naprednom pakiranju. Sustav podržava pločice od 6 inča i 8 inča i pruža stabilan, ponovljiv rast tankog filma i za istraživanje i razvoj i za masovnu proizvodnju.
Prednosti
1. Stil klastera i modularni dizajn olakšavaju konfiguraciju i proširenje za potrebe različitih procesa.
2. Potpuno automatizirano rukovanje pločicama s kompletnim pomoćnim funkcijama održava rad stabilnim i smanjuje ručnu intervenciju.
3. Jednokomorni raspored jedne mete podržava paralelne i sinkrone procese, poboljšavajući ukupnu učinkovitost.
4. Visoke performanse vakuuma do ~6E 6 Pa i ujednačenost otpora sloja Manje od ili jednako 3% pomaže u osiguravanju dosljedne kvalitete filma na pločicama.
Prijave
1. Integrirani krugovi: koriste se za postavljanje metalnih interkonekcija, elektroda i barijernih slojeva u prednjim i zadnjim procesima.
2. Uređaji za napajanje: podržava stvaranje metalnog filma za elektrode, metalizaciju i pasivizaciju u komponentama visokog napona i velike snage.
3. Napredno pakiranje: pruža pouzdanu metalizaciju za redistribucijske slojeve (RDL), bumping i druge strukture međusobnog pakiranja.
FAQ
P: Za što se zapravo koristi ovaj sustav magnetronskog raspršivanja?
O: To je-alat za taloženje tankog filma-prvenstveno za postavljanje metalnih filmova u proizvodnji poluvodiča. Zamislite da su integrirani krugovi, uređaji za napajanje i napredni procesi pakiranja-glavni slučajevi upotrebe.
P: Koje veličine vafla može podnijeti?
O: Trenutno radi sa 6-inčnim i 8-inčnim pločicama. Savršen i za rad u laboratoriju za istraživanje i razvoj i za velike proizvodne linije.
P: Koliko niska može biti razina vakuuma?
O: Govorimo o oko 6E-6 Pa za procesni vakuum. To je ključno za dobivanje visokokvalitetnih, postojanih tankih filmova.
P: Koliko je dosljedna uniformnost filma?
O: Ujednačenost otpora ploče je manja od ili jednaka 3%-tako da nećete vidjeti velike varijacije na pločicama, što je ključno za pouzdane performanse uređaja.
P: Po čemu se ovaj sustav ističe za svakodnevnu upotrebu?
O: Male su stvari koje se zbrajaju: modularni dizajn-u stilu klastera (super fleksibilan za prilagođene postavke), potpuno automatizirano rukovanje pločicama (smanjuje ručni rad) i jedno-komorni-ciljni raspored (omogućuje paralelni rad procesa, povećavajući učinkovitost).
P: Je li prikladan za napredne aplikacije pakiranja?
O: Apsolutno. Široko se koristi za metalizaciju u naprednim pakiranjima-kao što su RDL (slojevi redistribucije), bumping i druge strukture za međusobno povezivanje koje zahtijevaju pouzdane metalne folije.
Popularni tagovi: sustav magnetronskog raspršivanja, proizvođači, dobavljači sustava magnetronskog raspršivanja u Kini
