Pregled proizvoda
Nice-Tech' 8-inčni IBD sustav specijaliziran je za niske-temperature, visoku-gustoću i visoku-ujednačenost tankog-filma na 8-inčne pločice. Koristi tehnologiju raspršivanja s dvostrukim-ionskim-izvorom (raspršivanje + pomoćni izvor): glavni izvor generira čestice taloženja, dok pomoćni izvor omogućuje prethodno čišćenje na licu mjesta i zgušnjavanje filma.
Opremljen rotirajućim ciljnim bubnjem s 4-utora (podržava do 4 ciljana materijala) i optičkim-kontrolnim sustavom u stvarnom-vremenu (nadzire/prilagođava spektre filma), po izboru integrira jetkanje ionskim snopom (IBE) za "taloženje-jetkanje" u jednoj komori. Sukladan sa standardima za poluvodiče, odgovara masovnoj proizvodnji 8 inča i istraživanju i razvoju.
Prednosti
Filmovi niske-temperature, visoke-gustoće
Stvara-kvalitetne, guste filmove na niskim temperaturama i ultra{1}}niskom tlaku. Time se u potpunosti izbjegava oštećenje pločica i izravno se povećava dugoročna-trajnost uređaja.
Raznovrsnost-materijala
Opremljen bubnjem za ciljanje s 4-utora, podržava pojedinačne i kompozitne filmove-koji prekrivaju metale, legure, okside i još mnogo toga - nema potrebe za čestim mijenjanjem cilja.
Integrirana kontrola preciznosti
Odlučite se za IBE kako biste dobili "pre-čišćenje → taloženje → jetkanje" sve u jednoj komori. Praćenje-u stvarnom vremenu osigurava dosljednu izvedbu filma u svakoj seriji.
Široka kompatibilnost
Prilagođeno za 8-inčne vafle. Koristi standardne komponente, što olakšava održavanje i besprijekornu integraciju s postojećim proizvodnim linijama.
Prijave
Komponente tvrdog diska:Odlaže ključne filmove (npr. tvrdi magnetski prednaponski sloj) za HDD glave za čitanje (TMR/AMR), osiguravajući magnetsku stabilnost.
Optički uređaji:Priprema Braggove skupove i druge optičke filmove za lasere, fotodetektore i optičke senzore.
Precizni senzori:Depoziti funkcionalnih filmova (magnetski, vodljivi) za MEMS/magnetske senzore, povećavajući osjetljivost.0
R&D:Podržava razvoj novih filmova (2D kompoziti, piezoelektrični filmovi) na sveučilištima i istraživačkim institutima.
Parametri
|
Kategorija |
8-inčni IBD sustav |
|
Kompatibilnost vafla |
8-inča (primarni); prilagodljiv na djelomične podloge posebne veličine putem prilagodbe procesa |
|
Konfiguracija izvora iona |
Dvostruki-ionski-izvor (raspršujući ionski izvor + pomoćni ionski izvor); izborna IBE (Ion Beam Etching) funkcija |
|
Ciljani kapacitet bubnja |
Rotirajući bubanj s 4 utora (podržava do 4 različita materijala za mete) |
|
Temperatura taloženja |
Nisko{0}}temperaturni proces (izbjegava se toplinsko oštećenje pločica i osjetljivih uređaja) |
|
Procesni tlak |
Okolina ultra-niskog tlaka (doprinosi taloženju filma visoke-gustoće) |
|
Sustav kontrole filma |
Optički kontrolni-sustav u stvarnom vremenu (nadzire, analizira i prilagođava spektar filma u stvarnom vremenu) |
|
Depozitni materijali |
Metali, legure, oksidi i prilagodljivi za nove funkcionalne filmove (npr. 2D kompoziti, piezoelektrični filmovi) |
|
Integracija procesa |
Integrirani proces "pre-čišćenja-taloženja-jetkanja" (izborno, ista komora) |
|
Sukladnost industrije |
U skladu sa standardima obrade industrije poluvodiča |
|
Ključne komponente |
Međunarodni standardni dijelovi (niski troškovi održavanja, prikladna zamjena rezervnih dijelova) |
FAQ
P: Koju veličinu vafla sustav prvenstveno podržava?
A: 8-inča (prilagodljivo na djelomične podloge posebne veličine).
P: Koliko ciljanih materijala može obraditi?
O: Do 4, putem bubnja s rotirajućom metom s 4 utora.
P: Integrira li funkciju graviranja?
O: Da, izborni IBE (jetkanje ionskom zrakom) za "taloženje-jetkanje" u jednoj komori.
P: Koja je ključna prednost taloženja?
O: Filmovi niske-temperature, visoke-gustoće s-optičkom kontrolom u stvarnom vremenu za dosljednost.
Popularni tagovi: sustav taloženja ionskim snopom, proizvođači, dobavljači sustava za taloženje ionskim snopom u Kini
