Pregled proizvoda

Ova polu-automatska RTP oprema prilično je praktična, sposobna za obradu pločica od 8 do 12 inča. Polu-automatska RTP oprema nudi preciznu kontrolu temperature i vrlo nizak sadržaj kisika, što je čini idealnom za primjene koje zahtijevaju visoku čistoću procesa. Nadalje, bogat je-značajkama, podržava i atmosferske i vakuumske metode obrade i uključuje trostruke sigurnosne značajke. Savršeno je za procese poput ITO optimizacije i žarenja silicidne legure u srednje-količinskoj proizvodnji.

Prednosti

Široka prilagodljivost:

Rukuje pločicama od 8-12 inča, zadovoljavajući potrebe serijske proizvodnje različitih veličina. Fleksibilne konfiguracije lampi i SCR prilagođavaju se različitim procesnim scenarijima.

Automatizacija povećava učinkovitost:

Iako je i dalje potrebno ručno umetanje i pražnjenje vafla, vrata komore se automatski otvaraju i zatvaraju nakon pokretanja procesa, smanjujući ručnu intervenciju i poboljšavajući radnu učinkovitost i dosljednost procesa.

Precizna atmosfera:

Sadržaj kisika<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Sigurno i pouzdano:

Opremljen trostrukim sigurnosnim značajkama, u kombinaciji s automatskom kontrolom vrata komore, smanjujući operativne i procesne rizike i osiguravajući stabilan rad opreme.

Parametri

Model	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Veličina vafla	8 inča i niže	12 inča i niže
Veličina	970mm×1550mm×2160mm(Š×D×V)	1050mm×1740mm×2240mm (W×D×H)
Raspon temperature	RT~~800 stupnjeva (kontrolirano termokoplom) 500 stupnjeva ~1250 stupnjeva (kontrolirano pirometrom)	RT~~800 stupnjeva (kontrolirano termokoplom) 500 stupnjeva ~1250 stupnjeva (kontrolirano pirometrom)
Maksimalna brzina grijanja	150 stupnjeva /s---Samo oblatna 20 stupnjeva /s---SiC nosač 30 stupnjeva /s---Grafitni nosivi premaz SiC	150 stupnjeva /s---Samo oblatna 20 stupnjeva /s---SiC nosač 30 stupnjeva /s---Grafitni nosivi premaz SiC
Ujednačenost temperature	Manje od ili jednako ±3 stupnja @ Manje od ili jednako 600 stupnjeva Manje od ili jednako ±0,5% @ ＞600 stupnjeva	Manje od ili jednako ±3 stupnja @ Manje od ili jednako 600 stupnjeva Manje od ili jednako ±0,5% @ ＞600 stupnjeva
Ponovljivost temperature	±1 stupanj	±1 stupanj
Broj lampi/SCR-ova	33 komada / 10 kompleta	41 kom / 16 kompleta 55ea / 24 kompleta
Max MFC	6	6
Najniži tlak	30 mTorr	30 mTorr
Stopa curenja	10 mTorr/min	10 mTorr/min
O₂Postotak	<1 ppm	<1 ppm
Maksimalna/prosječna snaga	90/ 50 Kw	100/ 60 Kw
Napon	380V/ 60HZ/ 3 faze 5 žica	380V/ 60HZ/ 3 faze 5 žica
Metoda kontrole	PC kontrola	PC kontrola

FAQ

1. Vrata komore se ne otvaraju/zatvaraju automatski?

Provjerite je li proces normalno započeo. Ponovno pokrenite opremu i pokušajte ponovno. Ako se problem nastavi, provjerite ožičenje osjetnika vrata komore.

2. Sadržaj kisika prelazi 1 ppm?

Zamijenite inertnim plinom-visoke čistoće. Provjerite ima li curenja u plinovodu. Popravite i ponovno testirajte razine kisika.

3.Neravnomjerno zagrijavanje vafla?

Provjerite je li veličina vafla ispravna (8/12 inča). Očistite kvarcnu komoru. Ako se problem nastavi, obratite se inženjeru da prilagodi snagu žarulje.

4.Vafer lako sklizne tijekom ručnog umetanja/vađenja?

Očistite površinu nosača. Nježno gurnite oblatnu prema sredini tijekom punjenja/vađenja. Nosite-neklizajuće rukavice-bez prašine.

5.Kako stati u hitnim slučajevima?

Pritisnite "EMO Emergency Stop" za isključivanje izvora topline. Nakon što riješite problem, pritisnite gumb "Reset" za ponovno pokretanje.