Pregled proizvoda

Stolna RTP oprema Prilagodljiva malim-vaferima, oprema ima kompaktan dizajn i fleksibilno postavljanje. Kontrola temperature pokriva sobnu temperaturu do 800 stupnjeva (termoelement) i 500 stupnjeva do 1200 stupnjeva (infracrveni pirometar), s maksimalnom brzinom zagrijavanja od 150 stupnjeva /s (samo vafel). Ujednačenost temperature je manja ili jednaka ±3 stupnja (manja ili jednaka 600 stupnjeva) / manja ili jednaka ±0,5% (＞600 stupnjeva), a ponovljivost je ±1 stupanj, osiguravajući preciznu kontrolu temperature. Zapošljava načine ručnog utovara/istovara i otvaranja/zatvaranja vrata, opremljen je zvučnim signalom i svjetlima upozorenja te podržava upravljanje računalom. RTP oprema za stolna računala može zadovoljiti osnovne zahtjeve brze toplinske obrade kao što su žarenje ionskom implantacijom i rast oksida u laboratorijskom istraživanju i razvoju i scenarijima male-serijske proizvodnje.

Prednosti

Visoko prilagodljiv prostoru: Kompaktan dizajn omogućuje fleksibilno postavljanje, zahtijeva minimalan prostor i prikladan je za laboratorije ili okruženja male-serijske proizvodnje s ograničenim prostorom.

Precizna i stabilna kontrola temperature: ujednačenost temperature doseže manje od ili jednako ±3 stupnja (manje ili jednako 600 stupnjeva) / manje od ili jednako ±0,5% (＞600 stupnjeva), ispunjavajući zahtjeve točnosti temperature osnovnih procesa.

Siguran i intuitivan rad: Opremljen zvučnim signalom i svjetlima upozorenja, odmah pokazuje status opreme, smanjujući operativne rizike. Podržano je PC upravljanje, a podešavanje parametara je praktično.

Dobra prilagodljivost osnovnim procesima: podržava minimalni tlak od 30 mTorr i sadržaj kisika od<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Prijave

Žarenje ionskom implantacijom

Jednostavni rast oksida/nitrida

Predtretman legure silicida

Preliminarno ohmičko kontaktno legiranje

Ostala toplinska obrada malih uzoraka

Parametri

Model	RTP-100
Veličina vafla	6 inča i niže
Veličina	910mm×860mm×695mm(Š×D×V)
Raspon temperature	RT~~800 stupnjeva (kontrolirano termokoplom) 500 stupnjeva ~1200 stupnjeva (kontrolirano pirometrom)
Maksimalna brzina grijanja	150 stupnjeva /s---Samo oblatna 20 stupnjeva /s---SiC nosač 30 stupnjeva /s---Grafitni nosivi premaz SiC
Ujednačenost temperature	Manje od ili jednako ±3 stupnja @ Manje od ili jednako 600 stupnjeva Manje od ili jednako ±0,5% @ ＞600 stupnjeva
Ponovljivost temperature	±1 stupanj
Broj lampi/SCR-ova	29 komada / 10 kompleta
Max MFC	4
Najniži tlak	30 mTorr
Stopa curenja	10 mTorr/min
O₂Postotak	<3 ppm
Maksimalna/prosječna snaga	60/ 36 Kw
Napon	380V/ 60HZ/ 3 faze 5 žica
Metoda kontrole	PC kontrola

FAQ

Oglašava se zujalica i svijetli svjetlo upozorenja nakon pokretanja?

Prvo pritisnite "RESET" za zaustavljanje alarma. Provjerite jesu li vrata šupljine čvrsto zatvorena i je li zaključavanje vrata sigurno. Ako se problem nastavi, provjerite ožičenje senzora za zaključavanje vrata.

Koje mjere opreza treba poduzeti prilikom ručnog punjenja i pražnjenja pločica?

Nosite čiste rukavice kako biste spriječili kontaminaciju. Nježno rukujte pločicom kako biste izbjegli sudare i provjerite je li centrirana na nosaču.

Kako se prebacivati između kontrole temperature termoelementom/infracrvenim pirometrom?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 stupnjeva. Sustav će se automatski kalibrirati nakon prebacivanja.

Brzina zagrijavanja nije 150 stupnjeva/s (samo vafel)?

Potvrdite da nema nosača (SiC/grafitni nosači će ograničiti brzinu); provjerite rade li sve lampe ispravno. Neispravne komponente zahtijevaju-servis nakon prodaje.

Ujednačenost temperature prelazi ±3 stupnja (Manje od ili jednako 600 stupnjeva)?

Potvrdite vafer Manje od ili jednako 6 inča; provjerite snagu žarulje u softveru, ako je nenormalna, smjernice inženjera za fino-podešavanje; redovito čistite kvarcnu komoru i zatim kalibrirajte.

Oksidacija površine vafla?

Provjerite je li vakuum manji ili jednak 30 mTorr (ako je nedostatan, provjerite ima li curenja i zamijenite ulje vakuumske pumpe); potvrdite sadržaj O₂ < 3 ppm (ako je prekoračen, zamijenite plinsku bocu/provjerite ima li curenja u cjevovodu).

Ključne točke dnevnog održavanja?

Tjedno obrišite kvarcnu komoru alkoholom, provjerite sklop svjetiljke svaka 3 mjeseca (zamijenite nakon 1000 sati), provjerite brtveni prsten na starenje jednom mjesečno, pazite da vodeno hlađenje ne prelazi 70 stupnjeva.

Alarm niskog tlaka RTP opreme stolnog računala?

O: Isključite proces, provjerite vakuumski cjevovod, ponovno pokrenite pumpu; ako je i dalje nenormalan, provjerite brzinu curenja (ako prelazi 10 mTorr/min, locirajte i popravite curenje).

PC ne može čitati parametre?

Provjerite komunikacijski kabel između opreme i računala, ponovno pokrenite i pokušajte ponovno; ako i dalje nema podataka, provjerite ožičenje senzora ili se obratite post{0}}prodaji kako biste provjerili upravljački program softvera.

Kako zaustaviti opremu u hitnim slučajevima?

Pritisnite "EMO Emergency Stop" za isključivanje izvora topline i otvaranje poklopca; nakon što se kvar riješi, pritisnite "RESET" za resetiranje i ponovno pokretanje.