Pregled proizvoda
Nisko{0}}temperaturna RTP oprema: Nudi izuzetno preciznu kontrolu temperature od 250 stupnjeva do 500 stupnjeva, učinkovito upravljajući toplinskom obradom materijala kao što su litij niobat i silicij.
Može obraditi 150 8-inčne pločice po seriji, a također može obraditi 6-inčne pločice. Učinkovito uklanja nedostatke rešetke, što ga čini prikladnim i za istraživačke pilot projekte i za masovnu proizvodnju.
Učinkovita kontrola kontaminacije česticama niske-temperaturne RTP opreme značajno poboljšava performanse uređaja, uvelike doprinoseći stabilnoj proizvodnji u lancu industrije poluvodiča.
Prednosti
1. Kontrola srednje i niske temperature je super precizna-veliko smanjuje defekte sučelja silikonske pločice i održava stabilnost procesa i jednolikost čvrstima.
2. Oprema radi pouzdano, potpuno zadovoljavajući te stroge potrebe za preciznošću za izradu optoelektroničkih uređaja.
3. Dizajn kapaciteta je na mjestu-, balansirajući istraživanje i razvoj i masovnu proizvodnju. Dovoljan je-serijski izlaz, tako da se možete prebacivati između faza proizvodnje bez zamjene opreme.
4. S učinkovitim pročišćavanjem i stalnom kontrolom temperature, rješavamo problem kontaminacije česticama na izvoru. Također povećava izolaciju uređaja i modulaciju svjetlosnog polja, postavljajući čvrste temelje za visok prinos.
Prijave
1. Proizvodnja poluvodičkih uređaja:
Radi za izradu CMOS-a, IGBT-ova i drugih uređaja-zaklanja defekte rešetke sučelja vafera točno u rasponu niskih temperatura od 250 stupnjeva do 500 stupnjeva. Poboljšava električna svojstva materijala, čini uređaje pouzdanijima, povećava prinos masovne proizvodnje i održava dosljednu izvedbu serije.
2. Izrada optoelektroničkih uređaja:
Odgovara VCSEL-ima, fotodetektorima i sličnim proizvodima. Smanjuje interferenciju čestica tijekom žarenja, tako da kvaliteta sučelja silikonskih ploča ostaje solidna. Također poboljšava gustoću tankog filma, ograničenje optičkog polja i električnu izolaciju-plus kompatibilan je s litijevim niobatom i drugim materijalima, podržavajući integriranu proizvodnju optičkih uređaja.
3. Istraživanje i validacija procesa:
Savršeno za sveučilišta i laboratorije koji rade na-suvremenim stvarima kao što su silicijev karbid i kvantni čipovi. Lako se mijenja između malih-serijskih eksperimenata i velikih-obrada, s preciznom kontrolom temperature koja održava procese stabilnima. Pomaže u podešavanju parametara procesa i zabijanju tehnoloških otkrića.
Parametri
|
Veličina oblatne |
8 inča (kompatibilan sa 6 inča) |
|
Raspon temperature |
250 stupnjeva -500 stupnjeva |
|
Ravna zona |
860 mm |
|
Nosivost |
150 oblatni po šarži |
|
Primjenjivi materijali |
Litijev niobat, silicij, itd |
FAQ
Koje veličine vafla može obraditi ova RTP oprema za niske-temperature?
Uglavnom obrađuje napolitanke od 8-inča, a rade i one od 6 inča. Savršeno za obradu malih i srednjih poluvodiča i optoelektroničkih uređaja.
Kakav je raspon i točnost kontrole temperature? Može li ispuniti zahtjeve za-procese pri niskim temperaturama?
Temperatura se kreće od 250 stupnjeva do 500 stupnjeva, a kontrola je super precizna. Zona konstantne temperature duga je 860mm, tako da točno regulira nisko-temperaturno područje-potpuno zadovoljava potrebe toplinske obrade poluvodiča i optoelektroničkih uređaja-na niskim{6}}temperaturama!
Koliki je najveći broj vafla koji se mogu obraditi po seriji? Može li se koristiti i za istraživanje i za masovnu proizvodnju?
150 oblatni po seriji. To je dovoljno za male-serijske eksperimente na sveučilištima i u laboratorijima, a također ide u korak s potrebama učinkovitosti masovne proizvodnje poduzeća-radi za obje strane.
Koje materijale može obraditi? Je li kompatibilan s uobičajenim optoelektroničkim uređajima?
Može obraditi materijale poput litij niobata i silicija. Izvrsno za izradu poluvodičkih uređaja kao što su CMOS i IGBT, plus optoelektroničke uređaje kao što su VCSEL. Pokriva sve glavne materijalne zahtjeve.
Što jamči stabilnost procesa, kao što je kontrola kontaminacije česticama?
Ima naprednu kontrolu kontaminacije česticama i učinkovitu tehnologiju pročišćavanja kako bi se smanjile smetnje čestica tijekom obrade. Također, visoko{1}}precizna kontrola temperature održava procese poput oksidacije i žarenja ujednačenim i stabilnim-nema potrebe za brigom o prinosu proizvoda.
Popularni tagovi: nisko-temperaturna rtp oprema, Kina-niskotemperaturna rtp oprema proizvođači, dobavljači
