Minimalna veličina značajke
Minimalna kritična dimenzija (CD):
Minimalna veličina značajke, također poznata kao veličina polovine koraka, jedan je od najvažnijih parametara za mjerenje performansi litografskih strojeva.
Među njima je konstanta koja varira u različitim shemama litografije, gdje je λ valna duljina izvora ulaznog svjetla, a NA numerička apertura optičkog sustava litografskog stroja. Za konstante, trenutačno ASML-ov DUV litografski stroj u Nizozemskoj može postići najviše oko 0,25, dok je EUV još uvijek oko 0,35. Što je manja valna duljina ulaznog izvora svjetlosti, manji je stvarni proces fotolitografije koji se može izvesti. Za numeričku aperturu NA, gornja granica ove vrijednosti općenito je 1,0 za sheme DUV bez vlaženja i oko 1,35 za sheme DUV s vlaženjem. U usporedbi s neimerzijskom litografijom, strojevi za uranjajuću litografiju koriste dodatnu tekućinu za refrakciju tijekom litografije, obično čistu vodu s indeksom refrakcije od oko 1,33. To je i razlog zašto strojevi za uronjenu litografiju imaju veći NA.
Točnost graviranja
Preciznost preklapanja: Točnost poravnanja između maske i uzoraka vafera.
Osnovno značenje odnosi se na točnost poravnanja uzoraka između dva procesa fotolitografije. Ako je odstupanje poravnanja preveliko, to će izravno utjecati na prinos proizvoda.
Tolerancija na izloženost
Širina ekspozicije: širina ekspozicije, također poznata kao granica ekspozicije, jedan je od važnih parametara prozora procesa. Optički sustavi ekspozicije mogu formirati raspon energije ekspozicije koji zadovoljava zahtjeve dizajna. Obično se definira rasponom odabira energije izloženosti unutar ± 10% promjene CD vrijednosti otkrivene rezultatom izloženosti. Ako se širina linije eksponiranog uzorka relativno malo mijenja kada fotootporni materijal odstupa od optimalne doze izloženosti, to znači da fotootporni materijal ima veliku toleranciju na izloženost. Što je veća tolerancija izloženosti, to je veća tolerancija razvoja.
Tolerancija ekspozicije i kontrast projekcijske slike usko su povezani. Ako veličina značajke projicirane slike ima slab kontrast slike, bit će previše osjetljiva na promjene doze
