Pregled proizvoda

Spray Coater Equipment automatski je sustav za premazivanje fotootpornim raspršivanjem dizajniran za pločice s uzorcima dubokih-rupa, visokim-omjerom-visokih-omjera, okrugle i četvrtaste podloge.

Prihvaćajući tehnologiju prskanja fotootpornog materijala ultrazvučnom atomizacijom, oprema postiže ravnomjerno pokrivanje fotootpornog materijala na površinama stepenica, rubovima, bočnim stijenkama i dnu dubokih struktura. Sustav se može konfigurirati s integriranim komorama za premazivanje i komorama za razvijanje kako bi se ispunili radni tokovi razvijanja-vezanih premaza. Pruža ravnu-ujednačenost raspršivanja i izvrsnu izvedbu stepenaste pokrivenosti za aplikacije TSV dubokih rupa i visokog-omjera-strukture. Dostupno je više opcija komora kako bi se ispunili zahtjevi probne-probne-proizvodnje i masovne-proizvodnje znanstvenih istraživanja.

Prednosti

Vrhunska izvedba premaza za složenu topografiju

Tehnologija ultrazvučnog raspršivanja omogućuje dosljednu pokrivenost fotorezistom na strmim bočnim stijenkama, dubokim dnima rupa i rubovima pločica. Rješava probleme slabe pokrivenosti s kojima se suočavaju tradicionalni centrifugalni uređaji za visoko-omjer-omjera.

Izvrsni indikatori procesa

Ravno-ujednačenost prskanja doseže 5%@5-10 μm, a stepenasta pokrivenost veća ili jednaka 30%. Stabilna kvaliteta premaza podržava naknadne procese litografije i jetkanja.

Fleksibilna proširivost komore

Podržava 2-4 komore s dodatnim modulima Coater (COT) i Developer (DEV). Integrirana konfiguracija za razvijanje premaza pojednostavljuje tijek procesa za različite proizvodne potrebe.

Modularna prilagodba za različite scenarije

Kompaktna konfiguracija za laboratorijsko istraživanje i razvoj i pilot testiranje; proširena više{0}}komorna postavka za masovnu-proizvodnju velikog kapaciteta.

Prijave

Napredno pakiranje (TSV Deep Hole Proces)
MEMS uređaji
Energetski poluvodički uređaji
RF integrirani krugovi
Optika poluvodiča
Komponente optičke komunikacije
Laboratoriji sveučilišta i istraživačkih instituta

Parametri

Artikal	Specifikacija
Model	Serija ASP
Funkcija procesa	Fotootporni premaz sprejom; izborna funkcija razvijanja (COT / DEV modul)
Podržane podloge	Silicija, staklo, okrugle i četvrtaste podloge s uzorkom
Konfiguracija komore	2-4 komore (COT, DEV opcija)
Ravno-ujednačenost raspršivanja	5% @5-10 μm
Pokrivenost koraka	Veći ili jednak 30%
Ključna tehnologija	Ultrazvučno raspršivanje fotorezista
Način obrade	Automatsko nanošenje premaza raspršivanjem
Ukupna dimenzija	2665 × 2825 × 2550 mm (Š×D×V)

FAQ

P: Koja je ključna prednost uređaja za nanošenje raspršivača u usporedbi s tradicionalnim uređajem za nanošenje pomoću centrifuge?

O: Spin coater uglavnom odgovara ravnim površinama vafla. Uređaj za nanošenje raspršivača nanosi ultrazvučni atomizirani fotorezist, ostvarujući učinkovitu pokrivenost dubokih rupa, bočnih stijenki i stepenica visokog omjera. Idealan je za TSV i MEMS uređaje sa složenom topografijom površine.

P: Može li ovaj stroj završiti i premazivanje i razvijanje u jednoj jedinici?

O: Da. Sustav podržava dodatne COT (premazivanje) i DEV (razvijanje) komore. Kupci mogu odabrati samostalni uređaj za nanošenje premaza ili kombiniranu konfiguraciju razvijača prema tijeku procesa.

P: Podržava li kvadratne podloge osim okruglih pločica?

O: Da. Mehanizam za premazivanje raspršivanjem kompatibilan je i s okruglim pločicama i s četvrtastim podlogama kao što su komadi stakla, koji se ne mogu dobro obraditi centrifugiranjem. Navedite dimenziju supstrata za procjenu recepta.

P: Koje performanse pokrivenosti koraka mogu očekivati?

O: Prema optimiziranim receptima, pokrivenost koraka veća ili jednaka 30%. Rezultati u stvarnom svijetu ovise o stvarnoj dubini značajki, omjeru širine i visine slike i vrsti fotootpornog materijala. Nudimo podršku za podešavanje procesa.

P: Je li dostupna konfiguracija laboratorija male serije?

O: Da. Količina komora može se konfigurirati od 2 do 4 komore. Kompaktne verzije prikladne su za probno istraživanje i razvoj, dok postrojenje s više komora služi linijama za masovnu proizvodnju.

P: Koje su vrste fotootpornih materijala kompatibilne s ASP uređajem za nanošenje spreja?

O: Prilagođava se većini standardnih poluvodičkih fotorezista. Podijelite svoj model fotorezista i viskoznost radi provjere izvedivosti prije implementacije projekta.

Popularni tagovi: oprema za nanošenje spreja, proizvođači, dobavljači opreme za nanošenje sprejom u Kini