Pregled proizvoda
Ovaj litografski stroj bez maske, jednostavno rečeno, stroj je koji može urezivati zamršene uzorke na materijale bez "maske". Fleksibilniji je i isplativiji-od tradicionalne šablonske litografije i omogućuje brze prilagodbe uzorka, što ga čini prikladnim za istraživanje, proizvodnju malih-serija i podučavanje.
Dolazi u četiri glavna modela:
1. Stroj za litografiju bez maske za istraživanje prikladan je za laboratorijska istraživanja, rukovanje materijalima od 6 inča i sposoban za graviranje uzoraka do 0,4 mikrometra, nudeći visoku preciznost;
2. Brza-verzija litografskog stroja bez maske namijenjena je za-malu{2}}serijsku proizvodnju, rukovanje 8-inčnim materijalima izuzetno velikim brzinama, do 2500 kvadratnih milimetara u minuti;
3. Obrazovna verzija stroja za litografiju bez maske mali je stolni model, veličine samo 2 inča, idealan za nastavu u učionici i jednostavan za rukovanje;
4. Verzija ultra-velikog formata sposobna za rukovanje materijalima od 2- metra, zadovoljavajući specifične potrebe obrade velikih razmjera.
Bilo da se radi o sitnim komponentama čipova, mikrofluidnim čipovima za biološke pokuse ili obrazovnim demonstracijama, postoji model koji će zadovoljiti vaše potrebe, štedeći vam vrijeme i novac eliminirajući potrebu za maskom.
Ako želite znati kako koristiti određeni model ili koji model odabrati za određenu vrstu scenarija obrade, obratite se našoj tvrtki. To ćemo vam detaljno objasniti pomoću brošure proizvoda.
Prednosti
Fleksibilan dizajn, nema potrebe za maskama
Preciznost kritične dimenzije do 400 nm
Brzina do 1200 mm2 /min
Ekspozicija do 4 m2
Grayscale litografija do 4096 razina
Parametri
|
Model |
MLM 100 |
MLM 200 |
MLM 300 |
|
Kritična dimenzija |
0.8 μm |
0.4 μm |
|
|
Minimum redaka i razmaka |
1.0 μm |
0.8 μm |
|
|
Brzina ekspozicije |
Leća①:3 mm2/min Leća②: 20 mm2/min Leća③:100 mm2/min |
Leća①:1 mm2/min Leća②:3 mm2/min Leća③: 20 mm2/min Leća④:100 mm2/min |
Leća①:10 mm2/min Leća②:60 mm2/min Leća③:150 mm2/min |
|
Točnost prekrivanja (5 mm × 5 mm) |
400 nm |
350 nm |
|
|
Preciznost prekrivanja (50 mm × 50 mm) |
1000 nm |
700 nm |
|
|
Valna duljina |
LED: 405 nm / 380 nm |
LED: 405 nm / 390 nm |
|
|
Automatsko mijenjanje objektiva |
Podržano |
||
|
Sivi tonovi |
Neobavezno |
Podržano |
Nije-izborno |
|
Podloge |
3 mm × 3 mm (min.) & 150 mm × 150 mm (maks.) |
||
|
Debljina podloge |
0-10 mm |
||
|
Format podataka |
GDS & DWG & DXF |
||
|
Dimenzije (D׊×V) |
750 mm × 800 mm × 700 mm |
1150 mm × 950 mm × 2000 mm |
|
|
Težina |
320 kg |
590 kg |
|
|
Zahtjevi za instalaciju |
Ukupna površina: 1,5 m × 1,5 m Snaga:1,3 Kw; Temperatura: 20-30 stupnjeva; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 10 A |
Ukupna površina: 2,2 m × 1,7 m Snaga:1,4 Kw; Temperatura: 20-30 stupnjeva; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 10 A |
|
|
Model |
MLM 400 |
MLM 500 |
|
Kritična dimenzija |
1.0 μm |
0.5 μm |
|
Minimum redaka i razmaka |
2.0 μm |
0.5 μm |
|
Brzina ekspozicije |
Leća①:1000 mm2/min Objektiv②: 2500 mm2/min |
Leća①:75 mm2/min Leća②:300 mm2/min Leća③:1200 mm2/min |
|
Točnost prekrivanja (5 mm × 5 mm) |
500 nm |
250 nm |
|
Preciznost prekrivanja (50 mm × 50 mm) |
1000 nm |
500 nm |
|
Valna duljina |
LD: 405 nm / 375 nm |
|
|
Automatsko mijenjanje objektiva |
Podržano |
|
|
Sivi tonovi |
Neobavezno |
|
|
Podloge |
3 mm × 3 mm (min.) & 200 mm × 200 mm (maks.) |
|
|
Debljina podloge |
0-10 mm |
|
|
Format podataka |
GDS & DWG & DXF |
|
|
Dimenzije (D׊×V) |
1700 mm × 1300 mm × 1950 mm |
|
|
Težina |
1400 kg |
|
|
Zahtjevi za instalaciju |
Ukupna površina: 2,7 m × 2,3 m Snaga:2,4 Kw; Temperatura: 20–26 stupnjeva; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 16 A |
|
FAQ
Koja je najveća prednost ovog stroja u usporedbi s tradicionalnim litografskim strojevima?
Uklanja potrebu za "maskama" (predlošcima koji se koriste u tradicionalnoj litografiji). Promjene uzorka vrše se izravno u softveru, čime se štede troškovi i vrijeme pripreme predloška. To znatno olakšava probnu-serijsku proizvodnju i istraživanje novih dizajna.
Koliko se dobro može urezati? Imaju li različiti modeli različitu preciznost?
Preciznost ovisi o modelu: istraživačka verzija može urezivati do 0,4 mikrometra, verzija velike-brze 0,5 mikrometara, a obrazovna verzija 1,5 mikrometara, što je dovoljno za većinu dnevnih istraživanja i proizvodnje.
Materijale koje veličine može podnijeti?
Manji materijali uključuju obrazovnu verziju (2 inča, približno 5 cm), istraživačku verziju (6 inča) i brzu-verziju (8 inča). Za ultra-veće materijale postoje modeli s mogućnošću graviranja do 2 metra, prikladni za velike senzore i fleksibilne zaslone.
Koliko je brz? Je li prikladan za proizvodnju malih-serija?
Brza-verzija može gravirati do 2500 četvornih milimetara u minuti, što je dovoljno za malu-serijsku proizvodnju. Istraživačka verzija daje prednost preciznosti, ali njezina brzina također zadovoljava eksperimentalne potrebe bez dugog vremena čekanja.
Osim standardnih materijala, može li gravirati posebne materijale?
Može gravirati dijamante, optička vlakna, pa čak i zakrivljene male lopatice motora. Također se može opremiti pretincem za rukavice za rukovanje materijalima osjetljivim na vodu i kisik (kao što su mikro-LED i magnetski oksidi).
Može li se koristiti u školskoj nastavi? Postoje li odgovarajući modeli?
Dostupna je obrazovna verzija. Veličine je-stolnog računala, jednostavan je za rukovanje i savršen za studente da vježbaju principe fotolitografije. Preciznost od 1,5 mikrona dovoljna je za nastavne eksperimente.
Je li izvor svjetla fiksiran? Može li se promijeniti?
Zadana je ultraljubičasta svjetlost od 405 nm. Za posebne potrebe mogu se odabrati druge valne duljine (kao što su 380nm i 375nm) bez zamjene cijele jedinice.
Popularni tagovi: stroj za litografiju bez maske, proizvođači, dobavljači strojeva za litografiju bez maske u Kini


