Pregled proizvoda
Vertikalni sušač vafla -ovaj je napravljen s preciznošću na umu, posebno skrojen za stroge zahtjeve tih industrija.
Što ga čini praktičnim? Za početak, postoje dvije neovisne komore-tako da možete pokretati različite procese istovremeno bez unakrsne-kontaminacije, što je velika ušteda vremena-na prometnim proizvodnim linijama. Tu je i napredni sustav upravljanja; ne samo da "kontrolira" stvari, već fino-podešava svaki parametar kako bi dosljednost bila-čvrsta. A najbolji dio je kombinacija čišćenja i sušenja u jednoj jedinici-nema potrebe za premještanjem pločica između strojeva, čime se smanjuje rukovanje i rizik od oštećenja.
Na kraju krajeva, proizvođačima je stalo do pouzdanosti i čistoće-a ova sušilica pruža oboje. To je vrsta opreme koja ne samo da zadovoljava industrijske standarde, već se glatko uklapa u rad pravih proizvodnih timova.
Prijave
Vertikalni uređaj za sušenje vafla dizajniran za obavljanje poslova sušenja nakon SPM kiselinskog čišćenja i organskog čišćenja-dva koraka u kojima je kontrola ostataka najvažnija. Osim toga, također podržava potrebe nakon-sušenja za fotolitografsko razvijanje, uklanjanje fotootpornog materijala, ITO/BOE jetkanje i centrifugiranje. Najveća prednost ovdje je njegova dosljednost: osigurava da nema zaostalih kontaminanata ili problema s česticama, održavajući kvalitetu procesa stabilnom seriju za serijom.
Ovaj vertikalni sušač oblatni također blista u -scenarijama primjene s visokim ulozima. Za pakiranje mikro-senzora i čipleta na razini vafera, održava stopu fragmentacije ispod 1/10000-što je brojka koja izravno znači uštedu troškova za proizvođače. Osim toga, dobro je-prikladan za obradu-specijalnih pločica osjetljivih na temperaturu, kao što su galijev arsenid i safir. Ovi su materijali osjetljivi, ali sušilica ispunjava njihove zahtjeve ultra-čistoće i niskog-oštećenja, tako da nema potrebe brinuti o nedostacima povezanim s procesom.
Prednosti
Mayrinth dušikovo brtvljenje, šupljina i izolacija šupljine, bez efekta kontaktnog brtvljenja, kako bi se osigurali zahtjevi procesnog okruženja.
Online otkrivanje šoka
Funkcija uklanjanja elektrostatičkog elektriciteta, proizvod će proizvoditi statički elektricitet velikom brzinom, upotreba visokonaponskog uređaja za uklanjanje elektrostatičkog elektriciteta kako bi se stanje neutralizacije površine proizvoda
Mehanička funkcija samo{0}}resetiranja, zaustavite pripravnu kutiju čipa okrenutu prema gore
Parametri
|
Kategorija |
Artikal |
Detalji specifikacije |
|
Osnovne informacije |
Naziv proizvoda |
Vertikalna dvokomorna sušilica |
|
Broj modela |
Semiclean-QX-61-2M-A |
|
|
Veličina (referenca) |
D×D×V=Širina površine 490 mm × Dubina 937 mm × Visina 1880 mm |
|
|
Težina (približno) |
260 kg |
|
|
Procesna šupljina i kazeta |
Procesna šupljina |
Dvostruka šupljina (gornja i donja), neovisno kontrolirana; može postaviti 6" prilagođeni rotor nosača |
|
Korištena vrsta kasete |
KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm) |
|
|
Specifikacije dijelova za čišćenje i sušenje |
Opremljen s 2 komada prilagođenih rotora od 4"; kazetu isporučuje kupac, dijelovi rotora konačni su uzorci dizajna |
|
|
Radni parametri |
Postavka vremena procesa |
1s - 900s; točnost održavanja Manje od ili jednako ±5% |
|
Brzina rada |
100-2500rpm/min (podesivo prema karakteristikama proizvoda i procesu); pogreška brzine < ±2% |
|
|
Raspon temperature sušenja u komori |
Minimum: Veći ili jednak 45 stupnjeva; Maksimalno: Manje od ili jednako 85 stupnjeva |
|
|
Zahtjev za suhom čistoćom |
Čestice veće ili jednake 0,3 μm < 30 zrnaca/vaferu |
|
|
Oprema UPTIME |
Veći ili jednak 95%; prosječni mjesečni problem-slobodno radno vrijeme Veće ili jednako 648H |
|
|
Stopa fragmentacije operacije |
Manje od ili jednako 1/10000 |
|
|
Zahtjevi za medije |
Deionizirana voda |
Raspon tlaka: 0,2~0,4Mpa; maksimalni protok: 0,7m³/h |
|
Dušik |
Raspon tlaka: 0,5~0,6Mpa; maksimalna potrošnja: 18-20m³/h; koristi se za grijanje i brtvljenje |
|
|
Funkcije i zaštita |
Čišćenje sprejom |
Opremljen uređajem za čišćenje raspršivačem i postupkom samo-čišćenja šupljine |
|
Brtvljenje tijekom rada |
Vrata komore i osovina motora zabrtvljeni dušikom |
|
|
Detekcija curenja |
Ugrađen-senzor curenja; aktivira alarm za curenje kako bi se izbjeglo curenje |
|
|
Zaštita procesa |
Nakon što je proces završen, sučeljem se ne može upravljati ako se vrata ne otvore za vađenje proizvoda, izbjegavajući sekundarni rad |
|
|
Kontrolni sustav |
Kontrola jezgre |
PLC programabilna kontrola; sprema 10 sekcija procesa (10 koraka po sekciji); korisnici mogu uključiti/isključiti svaku pod-funkciju po potrebi |
|
Kontrola dopuštenja |
2 vrste kontrole dopuštenja rada, svaka konfigurirana s lozinkom dopuštenja |
|
|
Funkcija prikaza |
Zaslon prikazuje informacije o svakom procesu |
|
|
Način upravljanja i sučelje |
Svakom se komorom može neovisno upravljati; operativno sučelje: LCD zaslon osjetljiv na dodir |
FAQ
Za koje industrije je napravljen ovaj vertikalni sušač vafla?
Prvenstveno je prilagođen sektorima poluvodiča i mikroelektronike-zamislite scenarije u kojima se -sušenje pločica visoke čistoće ne-ne može pregovarati. Svaki dio dizajna oslanja se na jedinstvene potrebe ovih industrija.
Koje ključne procese može obraditi?
Pokriva čitav niz ključnih koraka obrade pločica. Konkretno, brine se za post{1}}sušenje nakon čišćenja SPM kiselinom, čišćenje organskim otapalima, razvoj fotolitografije, uklanjanje fotootpornog materijala, ITO/BOE jetkanje i centrifugiranje-svim kritičnim točkama gdje je bitno temeljito sušenje.
Koja je prednost njegovog dizajna s dvostrukom-šupljinom?
Gornja i donja šupljina rade neovisno-možete kontrolirati svaku zasebno. To znači da možete istovremeno obrađivati pločice u oba, što stvarno povećava učinkovitost proizvodnje. Osim toga, ako različiti procesi trebaju različite parametre, svaka šupljina može savršeno podnijeti vlastite postavke.
Koji je standard čistoće nakon sušenja?
Prilično je strog i s dobrim razlogom. Nakon sušenja, svaka pločica ima manje od 30 čestica koje su 0,3 μm ili veće. To je točno u skladu s visokim-zahtjevima za čistoćom u proizvodnji poluvodiča.
Je li lako rukovati?
Apsolutno. Dolazi s LCD zaslonom osjetljivim na dodir i PLC programabilnim upravljanjem-super intuitivnim. Možete pohraniti do 10 odjeljaka procesa, a svaki odjeljak može imati 10 koraka. Za sigurnost postoji i upravljanje lozinkama s dvostrukim-dopuštenjima. Čak i novi operateri brzo svladavaju osnove.
Koliko je pouzdana oprema?
Njegova radna stabilnost velika je prodajna prednost. UPTIME opreme dostiže najmanje 95% i radi bez problema u prosjeku 648 sati ili više svaki mjesec. Još bolje, stopa fragmentacije vafera nije veća od 1/10000 tijekom rada-tako da nećete puno izgubiti zbog kvarova na opremi.
Koji su mediji potrebni za pokretanje?
Samo dvije vrste: deionizirana voda i dušik. Deionizirana voda treba tlak između 0,2-0,4Mpa, s maksimalnim protokom od 0,7m³/h. Za dušik je potreban tlak od 0,5-0,6Mpa, a koristi najviše 18-20m³/h. Koriste se za čišćenje, grijanje i brtvljenje - svaki igra ključnu ulogu u ispravnom obavljanju posla.
Popularni tagovi: okomito sušenje vafla, proizvođači, dobavljači u Kini okomito sušenje vafla
