Pregled proizvoda
SCD6 i SCD6S su kompaktni 6-inčni sustavi za automatsko centrifugiranje i razvijanje za složene poluvodiče, energetske uređaje, MEMS i optoelektroničku proizvodnju.
SCD6: Namijenjen za proizvodnju energetskih uređaja i LED dioda. Ima kompaktnu strukturu, podržava supstrate kao što su Si, Safir, GaAs, GaN, SiC, InP, LT, LN i odgovara procesima G-line / i-line.
SCD6S: Orijentiran na MEMS, RF integrirani krug, optičku komunikaciju i laboratorijska istraživanja. Proširuje kompatibilnost materijala sa staklom i dodaje mogućnost PI procesa, pružajući veću fleksibilnost za različite zadatke istraživanja i razvoja i pilot-proizvodnje.
Oba modela imaju mali otisak, kompatibilnost s dvije-veličine bez zamjene dijelova, precizno napajanje pumpe za doziranje fotootpornog materijala i opsežne ugrađene-funkcije kao što su EBR, BSR i automatsko-čišćenje mlaznica.
Prednosti
Diferencijacija modela za različite scenarije SCD6 optimizira za snagu/LED masovnu-proizvodnju; SCD6S dodaje podršku za PI proces i staklenu-supstrat za MEMS, RF i-istraživačke korisnike.
Fleksibilni dodatni moduli Podržavaju kontrolu temperature fotootpornog/razvijača, HMDS modul za isparavanje kako bi odgovarao različitim zahtjevima procesa.
Potpuna mogućnost sljedivosti Dugotrajno-pohranjivanje zapisa o kvarovima opreme i zapisa parametara procesa, pogodno za praćenje kvalitete i analizu procesa.
Sveobuhvatne standardne procesne funkcije Ugrađen-u EBR, BSR, RRC, funkcije automatskog vlaženja i čišćenja mlaznice ljepila kako bi se osigurala stabilna kvaliteta litografije.
Visoko{0}}precizna isporuka fotorezista Precizna mjerna pumpa za opskrbu fotorezistom, visoku točnost doziranja i stabilno punjenje tekućinom; jednostavno postavljanje recepta za volumen doziranja.
Parametri
|
Artikal |
SCD6 |
SCD6S |
|
Model |
SCD6 6-inčni Spin Coater i razvijač |
SCD6S 6-inčni uređaj za nanošenje premaza i razvijač |
|
Veličina vafla |
6-inča (150 mm), kompatibilan s dvije veličine bez zamjene dijelova |
6-inča (150 mm), kompatibilan s dvije veličine bez zamjene dijelova |
|
Materijal podloge |
Si, safir, GaAs, InP, GaN, SiC, LT, LN |
Si, staklo, safir |
|
Konfiguracije komore |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
Podržani proces litografije |
G-linija, i-linija |
G{0}}linija, i-linija, PI |
|
Dimenzija opreme (Š × D × V) |
1050 × 1900 × 2200 mm |
1500 × 1450 × 2200 mm |
|
Izborne jedinice |
Kontrola temperature fotorezista / razvijača, HMDS modul |
Kontrola temperature fotorezista / razvijača, HMDS modul |
|
Osnovne ugrađene-funkcije |
EBR, BSR, RRC, automatsko-ovlaživanje i čišćenje mlaznica |
EBR, BSR, RRC, automatsko-ovlaživanje i čišćenje mlaznica |
|
Način upravljanja |
Lokalna kontrola, dugoročna-pohrana recepta i zapisnika grešaka |
Lokalna kontrola, dugoročna-pohrana recepta i zapisnika grešaka |
|
Certifikacija |
Sukladno SEMI S2 |
Sukladno SEMI S2 |
Često postavljana pitanja
P: Koja je razlika između SCD6 i SCD6S?
O: SCD6 je optimiziran za masovnu proizvodnju uređaja za napajanje i LED dioda, podržavajući različite složene poluvodičke podloge (Sapphire, GaN, SiC itd.) s G line / i line procesima. SCD6S dodaje mogućnost PI procesa i kompatibilnost sa staklenim supstratom, pogodnije za scenarije MEMS, RF IC, optičke komunikacije i laboratorijskog istraživanja i razvoja. Konfiguracije komora i fizičke dimenzije također su različite.
P: Podržavaju li SCD6 / SCD6S promjenu veličine vafla?
O: Da. Oba modela podržavaju kompatibilnost s dvije veličine bez zamjene rezervnih dijelova, skraćujući vrijeme promjene proizvoda.
P: Koji se dodatni moduli mogu odabrati?
O: Fotorezistentni i modul za kontrolu temperature razvijača, HMDS primarni modul dostupni su za SCD6 i SCD6S.
P: Može li stroj pohraniti povijest procesa i grešaka?
O: Da. Parametri procesa i zapisi o greškama opreme mogu se dugoročno pohraniti za kvalitetno praćenje i otklanjanje grešaka u procesu.
P: Jesu li prikladni za masovnu proizvodnju ili samo za laboratorijsku upotrebu?
O: Oba podržavaju masovnu proizvodnju malih serija kao i laboratorijsko istraživanje i razvoj. SCD6 je više orijentiran na serijsku proizvodnju snage/LED dioda; SCD6S odgovara pilot proizvodnji i istraživačkim projektima.
Popularni tagovi: 6-inčni uređaj za centrifugiranje i razvijač, Kina Proizvođači, dobavljači 6-inčnog uređaja za centrifugiranje i razvijač
