Osnaživanje nove visine u proizvodnji poluvodiča! Nice Tech lansira dvostruku-seriju LPCVD opreme, balansirajući preciznost i učinkovitost
Ako ste pratili napredak poluvodičke opreme, znat ćete koliko su pouzdani LPCVD alati veliki-posebno za timove koji žongliraju istraživanjem i razvojem i masovnom proizvodnjom. Zato se upravo-otkrivena Horizontalna i Vertikalna LPCVD serija Nice Tech-a čini kao da mijenja-igru. Ovo nije samo "još jedan skup strojeva"; napravljeni su za rješavanje stvarnih bolnih točaka koje smo čuli od inženjera: jednolikost pjegavog filma, kruta ograničenja veličine pločica i gnjavaža prebacivanja između procesa.
Za sve koji su novi u LPCVD-u: to je okosnica izrade ključnih poluvodičkih filmova-silicijevog nitrida, oksida, polikristalnog silicija-zagrijavanjem plinovitih spojeva pod niskim tlakom za oblaganje pločica. Nice Tech je godinama ugađao ovu tehnologiju, a s ova dva modela su se usredotočili na ono što različitim timovima zapravo treba.
Prvo uzmite vodoravni LPCVD. Napravljen je za ljude koji imaju višestruke funkcije-kao što su timovi za istraživanje i razvoj koji testiraju nove procese jedan tjedan, a idući povećavaju proizvodnju malih-serija. Prebacuje se između oksidacije, difuzije i žarenja bez muke, što štedi toliko vremena u usporedbi s žongliranjem zasebnim alatima. Vidjeli smo kako laboratoriji gube sate rekonfigurirajući opremu; ovaj to izrezuje. Podnosi pločice od 8-inča i manje, a ujednačenost filma? Konzistentno ispod ±2%. Osim toga, njegova je konstrukcija teška - radi tjednima bez zastoja, što je važno kada ste u tijesnom vremenskom okviru projekta.
Horizontalni LPCVD
Tu je i Vertical LPCVD, napravljen za velike lige: masovna proizvodnja pločica od 6-12 inča. Ako je vaša linija usmjerena samo na automatizaciju (a budimo realni, većina modernih postrojenja jest), ovo se savršeno uklapa. Nema više ručnih podešavanja koja usporavaju rad-neprimjetno se sinkronizira s inteligentnim proizvodnim linijama. Također postiže taloženje SiC tankog-sloma, što je ogromno za visoko{7}}naponske uređaje u-pojasnim poluvodičima. Ujednačenost je ovdje ±3%, što je više nego dovoljno za velike naklade, i drži korak s strogim proizvodnim ciljevima bez žrtvovanja kvalitete.
Vertikalni LPCVD
Oba dijele neke pametne osnove: kontrolu temperature koja ostaje unutar ±0,5 stupnjeva (kritično za postojane filmove) i raspon od 500-800 stupnjeva koji funkcionira za većinu uobičajenih tankih filmova. A ako trebate nešto više od standardna tri filma? Tim tvrtke Nice Tech smislit će prilagođeno rješenje - razgovarali smo s njihovim inženjerima i oni su prilično fleksibilni u podešavanju procesa za specifične potrebe.
Evo što najviše volimo: ne tjeraju vas da birate između "alata za istraživanje i razvoj" i "alata za proizvodnju". Horizontal je savršen za laboratorije koji testiraju litij niobat ili filmove kvantnog čipa; Vertical blista u tvornicama koje proizvode pločice od 12-inča za IC-ove. A održavanje? Svakih 6-12 mjeseci, samo čišćenje šupljine i kalibracija temperatura - Nice Tech čak šalje podsjetnike kako ne biste zaboravili.
Vodeći inženjer tvrtke Nice Tech to je jednostavno rekao: "Nismo samo napravili strojeve-sagradili smo nešto što raste s vašim radom." Takva je ovdje atmosfera. Ovi alati nisu o potvrdnim okvirima; oni žele olakšati timovima da postignu svoje ciljeve, bilo da je to validacija novog procesa ili povećanje proizvodnje.
Trenutno su pred-narudžbe otvorene. Ako ste umorni od alata koji rade samo jednu stvar ili koji zahtijevaju doktorat da bi nastavili raditi, vrijedi se obratiti njihovom timu. Mislimo da bi ovo mogla biti vrsta opreme koja uklanja glavobolju od taloženja-tankog filma-i za laboratorije i za tvornice.
