RTP oprema za oksidaciju i difuziju osnovni je alat za toplinsku obradu poluvodiča-koji kombinira oksidaciju, difuziju i žarenje u jednu robusnu jedinicu. Besprijekorno radi sa silicijem, silicijevim karbidom i drugim kritičnim materijalima, rukujući pločicama do 8 inča i stekao je reputaciju pouzdanih performansi i precizne kontrole koja ispunjava svakodnevne-za-zahtjeve obrade poluvodiča.
Osnovne aplikacije
1. Masovna proizvodnja uređaja-temeljenih na siliciju: To je radni konj iza IC-ova, IGBT-ova i sličnih komponenti. Koristit ćete ga za uzgoj izolacijskih filmova putem oksidacije, difuzijom difuzijom i glačanjem nedostataka kroz žarenje-a sve to uz održavanje velikog-količinskog izlaza potrebnog u potrošačkoj elektronici i industrijskoj kontroli.
2. Obrada materijala sa širokim-pojasnim razmakom: Ovaj alat stvarno dolazi do izražaja s naprednim materijalima kao što su SiC i GaN. Omogućuje vam da točno prilagodite koncentracije dopinga i izravnate sučelja materijala, što je ključno za izradu visoko-dijelova-modula napajanja za nova energetska vozila koja moraju izdržati teške uvjete.
3. Istraživanje i razvoj poluvodiča: Sveučilišta i laboratoriji kunu se u njega zbog njegove fleksibilnosti. To je multi{2}}procesna platforma koja istraživačima omogućuje prebacivanje između oksidacije, difuzije i više bez gnjavaže-savršeno za testiranje novih materijala kao što je galijev oksid ili izvođenje eksperimenata da vide kako se različiti parametri mijenjaju.
Idealni korisnici
1. Velike-proizvodne tvrtke: Ako proizvodite poluvodiče za potrošačku elektroniku ili nova energetska vozila, ovu opremu morate-imati. Njegov-u-dizajn smanjuje dodatne troškove i održava tijekove rada, dok njegove stabilne performanse osiguravaju da proizvodnja ostane na pravom putu, a prinosi dosljedni-bez neočekivanih zastoja koji vas usporavaju.
2. Istraživačke ustanove i sveučilišta: Za timove koji istražuju nove poluvodičke materijale, ovaj alat savršeno odgovara. S lakoćom upravlja malim{2}}serijskim eksperimentima, radi sa širokim rasponom materijala i omogućuje vam podešavanje parametara procesa po potrebi-pomažući ubrzati tempo inovacija bez ugrožavanja rezultata.
3. Srednji i mali proizvođači uređaja: Ako trebate uskladiti prilagođene narudžbe sa serijskom proizvodnjom, ova je oprema pametan izbor. Radi s višestrukim materijalima, tako da ne morate kupovati zasebne alate za različite procese, a njegovo postavljanje s 1-4 procesne cijevi omogućuje povećanje ili smanjenje kapaciteta. Ta je agilnost veliki plus kada pokušavate ostati konkurentni na tržištu koje se brzo mijenja.
