Oprema za magnetronsko raspršivanje okosnica je PVD tehnologije-naša tri modela postavljaju vrhunske-metalne, dielektrične i poluvodičke filmove, ali su napravljeni za različite poslove. Ako se razbijate po glavi koji vam pristaje, ovaj vodič ga jednostavno raščlanjuje na temelju toga tko ih koristi i za što se koriste.
Za koga je svaki model?
Industrijski model s jednom-komorom: Napravljen za velike proizvođače poluvodiča koji proizvode CMOS/IGBT i druge integrirane sklopove. Ovi timovi trebaju stabilan učinak, niske tekuće troškove i opremu koju je lako pratiti-nešto što bez ikakvih problema ulazi u njihove masovne proizvodne linije.
Industrijski više{0}}komorni model: Idealno za-proizvođače elektroničkih uređaja visoke klase usmjerene na 5G ili optoelektroniku. Oni se bave složenim više{3}}slojnim filmovima u velikom obimu, tako da automatizacija, preciznost i čista obrada (bez kontaminacije ručnim koracima) nisu predmet pregovaranja.
Istraživački-model ocjene: Savršeno za sveučilišta, laboratorije i nove materijale. Ljudi ovdje testiraju male serije-mislim na prototipove silicij-karbida ili kvantnih čipova-pa im je potrebna fleksibilnost za podešavanje postavki i kontrolu troškova istraživanja i razvoja.
Za što se koriste?
Industrijski model s jednom-komorom: Sjaji u masovnoj-proizvodnji standardnih filmova na pločicama od 8-inča (ili manjim). Brz je, dosljedan (ujednačenost filma ostaje ispod ±3%) i učinkovito koristi ciljeve za smanjenje troškova. Izvrsno radi sa silicijem, spojevima, keramikom - svim osnovnim proizvodima industrijske proizvodnje.
Industrijski više{0}}komorni model: Bavi se teškim stvarima: velika{0}}proizvodnja složenih više-slojnih filmova za 5G i optoelektroničke uređaje. Njegove modularne, automatizirane komore povećavaju učinkovitost, dok napredna kontrola čestica održava filmove ultra-čistima. Odgovara pločicama od 6-8 inča i dobro se poigrava sa silikonom, spojevima i još mnogo toga.
Istraživački-model ocjene: Igralište za istraživanje i razvoj. Podržava jednu-metu, više-ciljno sekvencijalno ili ko-raspršivanje-odlično za ispitivanje metala (Al, Au, Cu), dielektrika (SiO₂, TaN) i poluvodiča. Ima preciznu kontrolu temperature (RT-600 stupnjeva, grijanje/hlađenje) i malu-serijsku obradu radi uštede na probnim radnjama, plus dodatne dodatke kao što su predvakuumske komore.
Brzi odabir: 3 jednostavna koraka
Počnite sa svojim glavnim ciljem: masovna proizvodnja? Idi industrijski. istraživanje i razvoj? Zgrabite model istraživanja.
Suzite: standardni filmovi/8-inčna masovna proizvodnja pločica → jedna-komora. Složeni više-slojni filmovi → više-komorni. Fleksibilno testiranje malih-serija → istraživačka razina.
Dvaput-provjerite ključne pojedinosti: Veličina vafera (maksimalno 8-inča za jednu/istraživanje, 6-8 inča za više-komorne), kompatibilnost materijala (svi podržavaju stvari koje nisu -silicij poput keramike ili metala) i nadogradnje (modeli s više-komora/istraživački modeli mogu dodati ciljane puške-jednokomorne ne mogu, pa planirati unaprijed).
