Dvo-komorni sustav magnetronskog raspršivanja

Dvo-komorni sustav magnetronskog raspršivanja

Ovaj magnetronski sustav raspršivanja s dvije-komorije izrađen je posebno za proizvodnju infracrvenih uređaja u žarišnoj ravnini. Njegova je glavna funkcija taloženje ZnS/CdTe kompozitnih pasivacijskih filmova na HgCdTe epitaksijalne slojeve, što je ključni korak u izradi infracrvenih detektora visokih-učinkovitosti.
Pošaljite upit
Opis

Pregled proizvoda

 

Ovaj magnetronski sustav raspršivanja s dvije-komorije izrađen je posebno za proizvodnju infracrvenih uređaja u žarišnoj ravnini. Njegova je glavna funkcija taloženje ZnS/CdTe kompozitnih pasivacijskih filmova na HgCdTe epitaksijalne slojeve, što je ključni korak u izradi infracrvenih detektora visokih-učinkovitosti.

Kombinacijom zrelog magnetronskog raspršivanja sa strukturom dvo-komora, sustav korisnicima omogućuje preciznu kontrolu parametara rasta filma. Pouzdano proizvodi jednolike, guste pasivacijske slojeve, pomažući u poboljšanju performansi i stabilnosti infracrvenih nizova u žarišnoj ravnini u stvarnoj proizvodnji.

 

Prednosti

 

Arhitektura klastera smanjuje unakrsnu-kontaminaciju

Dizajn klastera i više-procesni raspored pomažu da se procesi pasivizacije i oksidacije odvojene, što smanjuje unakrsnu-kontaminaciju i održava kvalitetu filma dosljednom.

Nisko{0}}temperaturna podloga štiti HgCdTe materijale

Rad na nižim temperaturama supstrata pomaže u sprječavanju izlaska Hg atoma tijekom taloženja. Time se čuvaju izvorna svojstva materijala epitaksijalnih slojeva HgCdTe, što je važno za konačnu izvedbu uređaja.

Raspršivanje odozdo-prema gore smanjuje defekte čestica

Pristup prskanja odozdo-nagore smanjuje nakupljanje prašine i čestica na površini ploče. To dovodi do čišćih filmova i manje grešaka, što zauzvrat poboljšava ukupni prinos.

Precizna kontrola temperature podržava stabilnu obradu

Temperatura se kontrolira na ±0,5 stupnjeva u rasponu od 0 stupnjeva do 140 stupnjeva, a sustav radi s 4-8 inčnim pločicama. Ova razina kontrole pomaže u osiguravanju ravnomjernog rasta filma na pločici i ponovljivih rezultata od serije do serije.

 

Prijave

 

Sustav se uglavnom koristi u istraživanju i razvoju i masovnoj proizvodnji infracrvenih uređaja u žarišnoj ravnini, sa središnjim fokusom na taloženje ZnS/CdTe kompozitnih pasivizirajućih filmova na HgCdTe pločice.

To je ključni dio opreme u opskrbnom lancu infracrvenih detektora visoke-osjetljivosti, naširoko se koristi u zrakoplovstvu, vojnom izviđanju, industrijskom termalnom snimanju i znanstvenim istraživanjima za izradu uređaja za infracrveno snimanje.

 

FAQ

FAQ

P: 1. Što je dvokomorni-sustav magnetronskog raspršivanja?

O: To je specijalizirani alat za taloženje dizajniran za proizvodnju infracrvenih uređaja u žarišnoj ravnini, koji se koristi za taloženje ZnS/CdTe kompozitnih pasivacijskih filmova na HgCdTe epitaksijalne slojeve.

P: 2. Koje su glavne primjene ovog sustava?

O: Uglavnom se koristi u istraživanju i razvoju i masovnoj proizvodnji visoko{0}}osjetljivih infracrvenih detektora, koji se široko primjenjuju u zrakoplovstvu, vojnom izviđanju, industrijskom termalnom snimanju i znanstvenim istraživanjima.

P: 3. Koje su ključne prednosti dvo-komornog dizajna?

O: Arhitektura klastera izbjegava unakrsnu-kontaminaciju u procesima pasivizacije i oksidacije; nisko{1}}temperaturni dizajn supstrata sprječava izlazak Hg atoma; raspršivanje odozdo-gore smanjuje defekte čestica; visoka{3}}precizna kontrola temperature osigurava ujednačenost filma.

P: 4. Koja je točnost i raspon kontrole temperature?

A: Točnost kontrole temperature Manja ili jednaka ±0,5 stupnjeva, temperatura podloge podesiva od 0 stupnjeva do 140 stupnjeva, kompatibilno s pločicama od 4–8 inča.

P: 5. Zašto odabrati ovaj sustav za pasivizaciju HgCdTe?

O: Omogućuje čisto, nisko-temperaturno, visoko-ujednačeno okruženje taloženja, štiteći svojstva materijala i osiguravajući visoko{2}}kvalitetne ZnS/CdTe filmove ključne za rad infracrvenog uređaja.

P: 6. Na koje bi se ključne specifikacije kupci trebali usredotočiti?

O: Kompatibilnost veličine vafla, temperaturni raspon i preciznost, struktura komore, način raspršivanja i mogućnost kontrole kontaminacije.

P: 7. Je li dostupna prilagodba?

O: Da, podržavamo prilagođavanje veličine komore, temperaturnog sustava i parametara procesa kako bi odgovarali potrebama istraživanja i razvoja i masovne proizvodnje.

 

Popularni tagovi: dvo-komorni sustav magnetronskog raspršivanja, Kina proizvođači, dobavljači dvo{1}}komornog magnetronskog sustava raspršivanja

Pošaljite upit