Sustav za premazivanje i razvijanje ključna je-ili-loma u proizvodnji poluvodiča-njegova izvedba izravno oblikuje preciznost sklopa, učinkovitost proizvodnje i konačni prinos. Ako ste zapeli s odabirom pravog modela, evo-besmislenog vodiča za probijanje buke:
1. Počnite sa svojim stvarnim slučajem upotrebe
Nemojte prvo ulaziti u specifikacije-odredite za što ga stvarno koristite:
Linije za masovnu proizvodnju(mislite na uređaje za napajanje, LED tvornice): Dajte prioritet propusnosti i pouzdanosti. Ciljajte na WPH (vafere po satu) od najmanje 150, MTBF (srednje vrijeme između kvarova) preko 1000 sati i vrijeme rada od 95% ili više-ne možete si priuštiti česte zastoje.
Laboratoriji za istraživanje i razvoj ili mali-serijski projekti: Fleksibilnost je najvažnija. Potražite opremu koja radi s višestrukim procesima (I line, PI, PR, itd.) i može se nositi s lukavim pločicama-iskrivljene, četvrtaste ili neparne-veličine.
Specifične potrebe za čipom:
2-6 inčni složeni poluvodiči ili LED? UTW-1500 ili UTW1500X odgovaraju zahtjevima.
8-12-inčni vrhunski čipovi ili CoWoS pakiranje? UTW-3000 je jedini koji podržava te veće vafle.
2. Usredotočite se na specifikacije koje su zapravo važne
Ne morate pamtiti svaki broj-nule na ovim ključnim:
Preciznost: Minimalna širina linije (350 nm za osnovne aplikacije, do 45 nm za high-chipove) i stopa lomljenja pločice (mora biti manja ili jednaka 0,01%-čak se i mali gubici zbrajaju).
Propusnost: WPH se kreće od 150 (UTW1500X) do 200 (UTW-3000) - odaberite ono što odgovara vašem tempu proizvodnje.
Kompatibilnost: Provjerite odgovara li vašoj veličini vafla (2-12 inča) i kazetama (SMIF, OPEN CASSETTE ili FOUP za čišće okoliše).
3. Nemojte zanemariti male detalje
Male stvari mogu napraviti veliku razliku u svakodnevnom-u-korištenju:
Prostor: Ako je vaša radionica tijesna, toranj-u stilu UTW1500X (166015102000 mm) štedi dragocjeni podni prostor. Trebate prostor za proširenje? Odaberite modele s 2C2D/4C4D+sučeljem (poput UTW-1500 ili UTW-3000).
Materijali: Dijelovi za kontakt s pločicama trebaju biti PEEK/PTFE/KERAMIKA ili kompatibilni s ASML/Nikon opremom-kako se izbjegne kontaminacija pločica.
Softver: Mora raditi na Windows 10 ili novijem-nema smisla baviti se zastarjelim sustavima koji nisu u skladu s vašim postavkama.
4. Provjerite vjerodajnice i podršku nakon-prodaje
Dobar stroj je onoliko pouzdan koliko i tvrtka koja stoji iza njega:
Odlučite se za proizvođače s ISO, IAF i CNAS certifikatima -to je dokaz da ispunjavaju industrijske standarde.
Potvrdite da nude brze popravke (MTTR manje od ili jednako 4 sata) i solidnu tehničku podršku. Kad se stroj pokvari, ne možete čekati tjednima na pomoć.
5. Brzi odabir modela za uobičajene scenarije
2-6 inča istraživanje i razvoj ili proizvodnja malih serija(složeni poluvodiči, LED diode, optički uređaji): UTW-1500/UTW1500X. Troškovno je-učinkovit, radi s većinom osnovnih procesa i rukuje iskrivljenim/četvrtastim pločicama bez problema-uz to što je stopa lomljenja iznimno niska (Manje od ili jednako 0,01%).
4-8 inčni čipovi srednje klase masovna proizvodnja(uređaji za napajanje, IC-ovi, memorijski čipovi): UTW-2000A. S preciznošću od 180 nm i stalnim protokom od 160 komada/h, to je radni konj za linije srednje klase. Također dolazi s do 24 modula hladne/vruće ploče za dosljednu obradu.
8-12 inčni vrhunski čip masovne proizvodnje(memorijski čipovi, CoWoS pakiranje): UTW-3000. Ovdje je najbolji - preciznost od 45 nm, propusnost od 200 komada/h i podrška za napredne procese kao što su KrF i ArF. Kompatibilnost FOUP/SMIF kazete održava stvari čistima za osjetljive čipove.
Razmak-ograničene male linije: UTW1500X. Taj dizajn tornja spas je za skučena mjesta, a još uvijek zadovoljava sve osnovne ocjene performansi.
Posebni postupci ili oblatne neobičnog-oblika: UTW-2000Z. Pokriva gotovo svaki proces (I line, KrF, ArF, Package) i ima do 38 modula za hladnu/vruću ploču - savršeno za prilagođene poslove ili zahtjevne podloge.
