Tro-dimenzionalni optički profilometar postiže mjerenje preciznosti od mikrometra do nanometra putem interferencije bijele svjetlosti ili konfokalne tehnologije i analizira tro{1}}dimenzionalnu morfologiju, hrapavost i konture čvrstih površina materijala. Ovaj instrument ima karakteristike beskontaktnog mjerenja, izbjegavajući oštećenje mjerene površine i prikladan je za različite materijale kao što su prozirni/metalni/visoka refleksija. U područjima mehaničke proizvodnje, poluvodiča, zrakoplovstva itd., 3D optički profilometri naširoko se koriste u kontroli kvalitete, praćenju procesa i razvoju proizvoda.
Do 2025., glavni modeli kao što su ZeGage Pro i SuperViewW1 imat će i seizmičke performanse i automatizirane mogućnosti mjerenja, s preciznošću mjerenja koja prelazi razinu od 0,1 nm. Funkcije instrumenta uključuju analizu mikromorfologije, izračun zakrivljenosti i detekciju karakteristika tankog filma, koje su u skladu sa standardom ISO 25178 i postale su ključna oprema za detekciju za modernu preciznu proizvodnju
