Odabir stroja za premazivanje magnetronskim raspršivanjem ne znači odabir "najboljeg"-već pronalaženje onog koji kao saliven odgovara vašem tijeku rada. Bez obzira proizvodite li poluvodičke komponente po serijama, prilagođavate formule tankog-sloja u laboratoriju ili balansirate svestranost s proizvodnim zahtjevima, tri sustava za magnetronsko raspršivanje naše tvrtke stvaraju najbolje mjesto za različite potrebe. Idemo proći kroz specifikacije i uskladiti ono što radite s onim što trebate.
Prvo: postavite ova 3 pitanja da biste suzili izbor
Ne morate odmah uroniti u svaki tehnički detalj. Započnite s osnovama koje oblikuju vaš-za-dnevni rad:
1. Proširujete li se za masovnu proizvodnju ili ponavljate malo-serijsko istraživanje i razvoj?
2. S kojim podlogama i materijalima radite? (Razmislite o veličinama pločica, metalima u odnosu na dielektrike.)
3. Trebate li-automatizaciju bez ruku kako biste održali korak ili fleksibilnost za podešavanje procesa u hodu?
Odgovori na njih odmah će vas uputiti prema pravom sustavu. Razdvojimo kako svaki od njih odgovara scenarijima-stvarnog svijeta.
Za-industrijsku proizvodnju velikih količina:Industrijski više{0}}komorni modelMagnetronski sustav raspršivanja
Ako je vaš cilj da se proizvodne linije pokreću bez žrtvovanja kvalitete filma-recimo, proizvodite poluvodiče ili visoko{1}}preciznu elektroniku-ovaj sustav napravljen je da se nosi s brušenjem. To nije samo stroj; to je pojednostavljeni tijek rada u kutiji.
Po čemu se ističe? Koristi do 5 modularnih, neovisnih procesnih komora, tako da možete pokrenuti puni ciklus premazivanja-grijanje, otplinjavanje, prskanje, čak i čišćenje-bez ručne intervencije. To znači manje zastoja između serija i dosljedne rezultate, svaki put. Vidjeli smo da proizvođači poluvodiča skraćuju vrijeme procesa za 30% samo dopuštajući automatizaciji da upravlja koracima koji se ponavljaju.
Napravljen je za 6-inčne i 8-inčne pločice, s lakoćom radi s metalima i dielektricima i postiže ultimativni vakuum od 2×10⁻⁵ Pa kritičan za održavanje tih tankih slojeva čistima. A s ujednačenošću premaza unutar ±3%, nećete morati sortirati neispravne dijelove na kraju linije.
Ukratko: Ako su "učinkovitost" i "dosljednost" ključne riječi vašeg tima, ovo je vaš radni konj.
Za fleksibilne industrijske potrebe:Industrijski model s jednom-komoromMagnetronski sustav raspršivanja
Nije svaki proizvodni kat potreban potpun-postav s više komora. Možda jedan tjedan prelazite s metalnih premaza na keramičke sljedeći ili želite uravnotežiti učinak i cijenu. Tu blista sustav industrijskog standarda-to je "vještica za sve" koji još uvijek pruža industrijske-izvedbe.
Ovaj smo dizajnirali imajući na umu praktičnost. Energetski je-učinkovit i mudro koristi ciljeve, tako da ne rasipate materijale ili energiju. Stupanj supstrata također mijenja-igru-možete ga zagrijati do 650 stupnjeva ili ohladiti, ovisno o tome što vaš materijal treba da se pravilno zalijepi i stvrdne. Nema više postavljanja dodatne opreme za podešavanje temperature.
Radi s 8-inčnim i manjim pločicama, podržava do 4 ciljane puške, a izborni dodaci poput LOADLOCK komore ili multi-vafer kasete olakšavaju prilagodbu kako vaše potrebe rastu. Jedna tvornica elektronike s kojom surađujemo koristi ga za sve, od premaza senzora do komponenti tiskanih ploča - sviđa im se što im ne treba poseban stroj za svaki posao.
Za laboratorije i istraživanje i razvoj:Istraživački-model ocjeneMagnetronski sustav raspršivanja
Ako ste u sveučilišnom laboratoriju ili u startupu i testirate nove tehnologije tankog{0}}filma-mislite na kvantne čipove ili napredne senzore-trebate sustav koji je jednako znatiželjan kao i vaš tim. Istraživačko izdanje mijenja-veliku automatizaciju za fleksibilnost eksperimentiranja, podešavanja i ponavljanja bez muke.
Ovo je sustav koji naši partneri za istraživanje i razvoj obožavaju. Podnosi gotovo svaki materijal koji možete baciti na njega: Al, Au, Cu za metale; SiO₂, TaN za dielektrike; čak i poluvodiči. Možete dodati module poput pred{2}}vakuumske komore ili alata za čišćenje uzoraka kako se vaš projekt razvija-nema potrebe za kupnjom potpuno novog stroja kada vaše istraživanje krene.
Dovoljno je kompaktan za laboratorijske prostore, a mali{0}}kapacitet šarže znači da nećete rasipati dragocjene materijale na probne radove. Stupanj supstrata vam omogućuje podešavanje temperature (RT-600 stupnjeva) i brzine rotacije (5-20 RPM), tako da možete birati te savršene parametre procesa. Za pločice od 8 inča još uvijek postiže ±3% ujednačenosti - tako da se vaši laboratorijski rezultati prevode kada ste spremni za skaliranje.
Brzi pregled: Koji sustav odgovara vašoj ulozi?
|
Vaš tijek rada |
Preporučeni sustav |
Zašto klikne |
|
Masovna-proizvodnja poluvodiča/elektronike |
Industrijska više-komora |
Automatizirana više{0}}koračna obrada održava dosljedne serije |
|
Industrijska proizvodnja s različitim potrebama premazivanja |
Industrijski standard |
Uravnotežuje troškove, učinkovitost i fleksibilnost materijala |
|
Laboratorijsko istraživanje ili razvoj malih-serijskih procesa |
Istraživačko izdanje |
Modularni dizajn omogućuje vam eksperimentiranje bez ograničenja |
Posljednja napomena: mi vam čuvamo leđa
Svi Magnetron Sputtering Systems zadovoljavaju stroge standarde kvalitete, ali ono što nas zaista izdvaja je podrška. Naš tim kombinira lokalnu brzinu odgovora sa stručnošću u sjedištu-plus rezervne dijelove pri ruci-tako da nikada ne zaglavite čekajući ako trebate pomoć. A ako vaš projekt treba nešto prilagođeno, poput većih supstrata ili jedinstvenih postavki procesa, mi ćemo prilagoditi sustav vama.
Najbolji dio? Ne kupujete samo stroj-već odabirete rješenje koje raste s vama. Ako još uvijek niste sigurni koji sustav odgovara vašem sljedećem projektu, javite se našem tehničkom timu. Proći ćemo kroz vaš tijek rada, odgovoriti na vaša pitanja i pobrinuti se da dobijete upravo ono što trebate.
