Budimo iskreni-odabir peći za žarenje nije samo označavanje kućica. Radi se o pronalaženju nečega što odgovara vašem tijeku rada, bilo da petljate u laboratoriju ili izbacujete vafle 24/7. Imamo šest RTP (Rapid Thermal Processing) modela, od kojih je svaki napravljen za određene poslove, pa ćemo raščlaniti kako se usredotočiti na onaj koji vama stvarno odgovara-a ne obrnuto.
Prvo: odredite osnove koje su najvažnije
Prije nego što se zaglavite u specifikacijama, započnite s tri jednostavna pitanja. Oni će prebiti buku brže od bilo čega drugog.
1. Koliko pravite i koju veličinu oblatni koristite?
O vašem izlazu i veličini vafla ne može se -pregovarati-oni će odmah isključiti modele koji ne mogu pratiti ili odgovarati vašim dijelovima.
Na primjer:
Ako ste sveučilišni laboratorij koji testira nove materijale s pločicama od 4-inča (i treba vam samo nekoliko tjedno), naša RTP oprema za stolna računala je savršena. Maksimalno je 6 inča i stane na radni stol - nije potreban ogroman otisak.
Ako proizvodite pločice od 8-inča (recimo, 500 do 2000 tjedno) za srednje-količinsku proizvodnju, poluautomatska RTP oprema ima smisla. Obrađuje 8–12 inča i smanjuje ručni rad bez troškova potpune automatizacije.
Za velike-prodavaonice (2000+ vafla tjedno, veličine 12-inča), trebat ćete automatsku RTP opremu ili RTP opremu za{-oksidaciju na visokoj temperaturi. Automatski radi 24/7 s robotima - bez ljudske pogreške koja usporava stvari.
Jednostavno je: ne kupujte peć od 12-inča ako koristite samo 6-inčne vafle. Uzalud ćete potrošiti prostor i novac.
2. Što točno pokušavate učiniti?
Naše peći nisu-trik konji-ali su optimizirane za određene poslove. Ako trebate uzgajati SiO₂ filmove za CMOS čipove, nemojte zgrabiti model napravljen za nisko{3}}žarenje topline.
Evo brzog podudaranja:
Uzgoj čistih, gustih SiO₂ filmova (za IGBT ili MEMS)? Odaberite RTP opremu za-oksidaciju na visokim temperaturama. Pogađa precizne temperature (600–1150 stupnjeva) i održava kisik na vrlo niskoj razini-što je kritično za kvalitetu filma.
Trebate se prebacivati između oksidacije, difuzije i žarenja (sve u jednom stroju)? RTP oprema za oksidaciju i difuziju je vaš čovjek. Ima 1-4 procesne cijevi, tako da možete pokrenuti dva posla odjednom ako je potrebno.
Radite s optoelektronikom (poput VCSEL-a) kojoj je potrebno žarenje-za niske topline (250–500 stupnjeva)? RTP oprema za niske-temperature napravljena je za to. Izbjegava gorenje osjetljivih materijala i zadržava čestice-ključno za opto-izvedbu uređaja.
Trebate samo osnovno žarenje (poput popravka ionske implantacije) za prototipove? Desktop RTP obavlja posao bez previše kompliciranja.
3. S kojim materijalima radite?
Ne slažu se sve peći dobro sa svakim materijalom.
Preskočite nagađanja:
Silicij (za IC ili standardne IGBT)? Većina modela radi, ali RTP oprema za oksidaciju i difuziju izvrsna je ako trebate više procesa.
Stvari sa širokim-pojasnim razmakom kao što su SiC ili GaN (za module napajanja za EV)? RTP oprema za oksidaciju i difuziju zadovoljava njihove visoke-potrebe za toplinom (400–1200 stupnjeva), ili RTP za oksidaciju pri visokim-temperaturama ako se fokusirate na filmove.
Litijev niobat (za optoelektroniku)? Držite se RTP opreme-za niske temperature. Njegov raspon od 250 do 500 stupnjeva neće oštetiti materijal kao -model s visokom toplinom.
Sljedeće: Zaronite u specifikacije koje zapravo utječu na vaš rad
Nakon što ste stekli osnove, vrijeme je da provjerite specifikacije koje će učiniti ili uništiti vaš proces. Nemojte se vezati za svaki broj-usredotočite se na ova tri.
Kontrola temperature: Ispravite je ili će vaši dijelovi stradati
Ako vaš proces zahtijeva strogu kontrolu temperature, nemojte pristajati na kompromise. Na primjer:
Nisko{0}}temperaturna RTP oprema ima 860mm ravnu zonu (to je područje s konstantnom toplinom) - savršeno za osiguravanje da svaka pločica u seriji dobije isti tretman.
RTP oprema za-oksidaciju na visokim temperaturama postiže točnost od ±0,5 stupnjeva-ne-o čemu se može raspravljati ako uzgajate SiO₂ filmove gdje čak i mala promjena temperature uništava kvalitetu.
Ako mijenjate niske i visoke temperature (recimo, 500–1000 stupnjeva), polu-automatski ili automatski RTP-ovi imaju dvostruku kontrolu: termoparovi za niže temperature, pirometri za više. Nisu potrebne ručne prilagodbe.
Automatizacija: Koliko posla želite obaviti?
Automatizacija nije samo "fancy"-već se radi o dosljednosti i brzini.
Ako ste laboratorij s jednom osobom koja rukuje uzorcima, ručno učitavanje (RTP oprema stolnog računala) je u redu. Neće vam trebati roboti za 10 napolitanki tjedno.
Za srednji volumen, polu-automatska vrata automatske komore RTP-a štede vrijeme-ubacite pločicu, pritisnete Start i vrata se sama otvore/zatvore. Manje stajanja, manje grešaka.
Trgovine-velike količine? Roboti Automatic RTP-a upravljaju utovarom, poravnavanjem i hlađenjem-i povezuju se s vašim sustavom upravljanja proizvodnjom. Čak ima stopu lomljenja pločica ispod 1 u 10 000. Vrijedi ulaganja ako vas zastoj košta.
Atmosfera: Zadržite nečistoće (ako je potrebno)
Ako je vaš proces osjetljiv na kisik (poput dopinga poluvodiča), nemojte ovo preskočiti.
Polu{0}}automatski i automatski RTP održavaju kisik ispod 1 ppm-super čistim. Također imaju 6 MFC-ova (kontrolera protoka mase) za podešavanje mješavine plina točno onako kako vam je potrebno.
RTP oprema stolnog računala je ispod 3 ppm-dovoljno dobra za osnovne poslove, ali ne i za ultra-čiste procese.
Ako radite samo jednostavnu oksidaciju, 3 ppm je u redu. Ako pravite čips kod kojeg čak i mala nečistoća ubija performanse, pokrenite se<1 ppm models.
Konačno: ne zaboravite praktične stvari
Čak ni najbolja peć neće raditi ako ne odgovara vašem prostoru ili proračunu.
Prostor: Prvo izmjerite, kupite kasnije
Laboratorij ili mala trgovina? RTP stolnog računala je 910mm×860mm×695mm-otprilike veličine velikog stola.
Srednji objekt? Polu-automatski RTP (8-inčni model) je 970 mm × 1550 mm × 2160 mm – i dalje se može upravljati, ali trebat će vam namjensko mjesto.
Velika tvornica? Automatski RTP model s dvostrukom -šupljinom je 2100mm×2450mm×2200mm-provjerite imate li prostora za kretanje oko njega.
Sigurnost: nema-pregovaranja (ali mi vas pokrivamo)
Svi naši modeli zadovoljavaju SEMI S2 standarde-industrijska pravila za sigurnost. Ali neki imaju dodatne pogodnosti:
Automatska RTP oprema ima hitno zaustavljanje pomoću jednog-gumba i upozorava vas na pregrijavanje ili curenje vode-što je kritično za rad 24/7.
RTP oprema za stolno računalo ima zvučne signale i svjetla upozorenja-jednostavno, ali učinkovito za laboratorije u kojima bi netko mogao žonglirati s više zadataka.
Još uvijek zapeo? Ovdje smo da vam pomognemo
Budimo iskreni-ponekad morate razgovarati o tome. Ako niste sigurni (recimo, birate između polu-automatskog i automatskog za povećanje volumena), možemo:
Prođite kroz svoj trenutni tijek rada i kako biste mogli skalirati.
Pokazati vam demonstraciju kako bi model podnio vaš specifični proces.
Čak i prilagodite model (poput dodavanja dodatnih procesnih cijevi) kako bi odgovarao vašim potrebama.
Ne prodajemo "jedna{0}}veličina-odgovara-svima"-prodajemo peći koje odgovaraju vašem poslu. Bilo da testirate nove materijale ili vodite proizvodnu liniju, postoji model koji je pravi za vas.
Samo se obratite našem tehničkom timu-mi ćemo vam pomoći da ga pronađete.
