Uglavnom služi sljedećim industrijama:
1. Proizvodnja poluvodiča: otkrivanje defekata na površini pločice
2. Optički materijali: Analiza zakrivljenosti leće i točnosti oblika površine
3. Biomedicina: Promatranje mikrostrukture biočipova
4. Industrijska ispitivanja: Procjena kvalitete površinske obrade metala
