Pregled proizvoda

Automatizirani mikroskop za pregled pločica automatizirani su uređaji-za pregled razine pločica za industrije kao što su poluvodiči, panel zasloni i fotonaponski uređaji. Pružaju učinkovita i precizna rješenja za pregled, analizu i obradu uzoraka.

Pozicioniranje proizvoda

Automatizirani mikroskop za pregled pločica koji koristi Zeissovu optičku tehnologiju, integrirajući modularni dizajn i inteligentne algoritme, ovi mikroskopi pokrivaju sve potrebe pločica, od automatskog punjenja i pražnjenja, više-dimenzionalne inspekcije, označavanja nedostataka do generiranja izvješća, balansirajući jednostavnost upotrebe i profesionalnost.

Prednosti

① Visoko-učinkoviti načini rada

② Rješenje za pregled pločica ključ u ruke

③ Mjerenje-u stvarnom vremenu, pružanje točnih podataka

④ Bogate opcije objektiva

⑤ Inteligentni i brzi autofokus

⑥ Inteligentno i učinkovito lasersko označavanje grešaka

⑦ Pregled navigacijske karte, usporedba crteža, točno pozicioniranje

⑧ Kompatibilnost-treće strane, omogućava automatizirano rukovanje pločicama

Prijave

Proizvodnja poluvodiča
Zaslon ploče
Fotonaponska industrija

Parametri

XY faza	8-inčni wafer XY ručni/motorizirani modul pozornice XY točnost: Manje od ili jednako 2 μm Raspon hoda: 205 mm × 205 mm Ručka kvačila za brzo kretanje
Faza Z-osi	Ručni kotač Z-osi Preciznost finog-podešavanja Z{0}}osi: Manje od ili jednako 1 μm Raspon putovanja: veći ili jednak 36 mm
Objektiv	Usvojite Zeissov originalni ručni/električni nosni nastavak za mikroskop Zeiss EC EpiPlan objektivi, EC Epiplan Apochromat objektivi i EC Epiplan Neofluar objektivi
Izvor svjetlosti	5W LED propusni izvor svjetla 10W LED reflektirajući izvor svjetla
Faza punjenja pločice	Kompatibilan s-veličinom wafera (kompatibilan s 4-inčnim, 6-inčnim i 8-inčnim waferima) Dopušten je prijenos, odvojivi radni stol s pločicama i podržana je funkcija detekcije LCD zaslona
Slikovno promatranje	Kompatibilan sa kamerama serije Zeiss Axiocam ili kamerama trećeg dijela Okulari za Zeiss (opcija) Nudi načine promatranja svijetlog polja i tamnog polja, s opcijskim diferencijalnim interferencijskim kontrastom, fluorescencijom i polariziranim načinima rada
Ručka za daljinsko upravljanje	Tipka za promjenu objektiva Gumb za kontrolu intenziteta svjetla osvjetljenja i može automatski prilagoditi trenutni intenzitet svjetla prema leći objektiva/načinu promatranja Gumb za uključivanje reflektiranog i propuštenog osvjetljenja Gumb za fokusiranje osi Telex Z-, daljinsko otkrivanje osi gibanja XY Označavanje kvara i tipka za autofokus
Modul autofokusa	Kompatibilan s modulom aktivnog autofokusa, realizira-funkciju fokusiranja promatranog objekta u stvarnom vremenu pod objektivom od 50×
Modul za označavanje kvarova	Kompatibilan s modulom za označavanje nedostataka za postizanje-označavanja uzoraka neispravnih dijelova u stvarnom vremenu
Modul za rukovanje vaflima	Kompatibilan s modulima za rukovanje pločicama za postizanje automatskog punjenja i pražnjenja pločica

FAQ

Koju veličinu pločica može pregledati? Može li pregledati druge veličine?

Kompatibilan je s vaferima od 4 inča, 6 inča i 8 inča. Uz uklonjenu pozornicu, također se može koristiti za pregled LCD ploča.

Koju optičku tehnologiju koristi?

Nastavlja Zeissovu stoljetnu optičku kvalitetu-i integrira prednosti ICCS optike. Svi objektivi su originalne Zeiss leće, uključujući akromatske, polu-apokromatske i apokromatske tipove. Također podržava svijetlo polje, tamno polje, DIC, polarizirani i fluorescentni način promatranja.

Je li teško operirati? Moram li sam sastaviti module?

Ne, to je rješenje ključ u ruke. Ergonomski okulari, daljinska ručka i operativni softver su integrirani. Cijeli proces ne zahtijeva dodatni razvoj, pa čak i početnici mogu brzo početi.

Može li se njime upravljati automatski ili daljinski?

Njime se može daljinski upravljati pomoću ručke koja ima tipke prečaca za promjenu objektiva i podešavanje osvjetljenja. Također se može opremiti motoriziranom XYZ pozornicom, autofokusom i modulima za rukovanje pločicama, što omogućuje automatsko učitavanje i uklanjanje i kontinuirano praćenje fokusa.

Kakva je točnost pomaka? Koliko dobro radi autofokus?

XY motorizirani stupanj postiže točnost manju ili jednaku 2 μm, a točnost finog{2}}ugađanja Z-osi je manja ili jednaka 1 μm. Automatsko fokusiranje koristi izvor svjetla od 660nm/780nm/808nm, kameru s velikom-frame-brzinom i algoritme koji omogućuju brzo fokusiranje i kontinuirano praćenje. Također podržava nadogradnje za mikroskope serije Zeiss Axioscope.

Na kojim se materijalima može koristiti lasersko označavanje grešaka?

Dostupna su dva lasera, 450nm i 532nm. Materijali kao što su krom, aluminij, ITO, bakar i silikonska smola mogu se koristiti za označavanje i popravak razine ispod-mikrona.