Pregled proizvoda
Serije Nice-Tech CV600/CV700 su MOCVD uređaji visoke -masovne-proizvodnje za složeni epitaksijalni rast poluvodiča, koji usvajaju vlasničku planetarnu-satelitsku tehnologiju dvostruke rotacije za ostvarivanje više-rasta pločica s jednoličnošću razine-pločice-. Uz vodeću učinkovitost iskorištenja izvornog plina putem optimiziranog dizajna ubrizgavanja i transporta plina, oprema ima SEMI-S2/SEMI-S6 certifikat, jednostavna je za rukovanje i održavanje te podržava fleksibilnu prilagodbu. CV700 je nadograđeni model velikog-kapaciteta, koji tvori gradijentnu liniju proizvoda kako bi zadovoljio različite zahtjeve masovne proizvodnje globalnih industrijskih korisnika i istraživačkih institucija.
Prednosti
1. Vrhunska ujednačenost rasta: Dvostruka rotacija planetarnog-satelita osigurava ravnu površinu materijala, oštre vrhove difrakcije i strma sučelja rasta s izvrsnom ujednačenošću.
2. Visoka učinkovitost iskorištenja izvornog plina: Optimizirani dizajn plina povećava iskorištenje izvornog plina, idealno za -cenovno osjetljivu epitaksijalnu masovnu proizvodnju.
3. Visoka sigurnost i pouzdanost: certificiran SEMI-S2/SEMI-S6, s optimiziranom strukturom za jednostavan rad, jednostavno održavanje i dug radni vijek.
4. Široki raspon rasta materijala: Pokriva epitaksijski rast glavnih poluvodičkih materijala 2. i 3.-generacije za više-scenariju proizvodnje složenih poluvodiča.
5. Fleksibilna konfiguracija i prilagodba: Bogate opcije veličine supstrata, podrška za prilagođenu nadogradnju plinskih krugova, termostatskih kupki i drugih osnovnih komponenti.
6. Precizna kontrola procesa: Standardno s neovisnom kontrolom temperature satelitske ploče, in-in situ R/T nadzorom i više-slojnim ubrizgavanjem plina za visoku-preciznost, stabilan rast.
Prijave
Ova serija omogućuje epitaksijski rast glavnih poluvodičkih materijala 2./3-generacije (arsenidi, fosfidi, nitridi, SiC, itd.), a pripremljeni tankoslojni materijali primjenjuju se u proizvodnji poluvodičkih, optičkih i energetskih uređaja. Opslužuje ključna područja terminala uključujući novu energiju, prijenos energije, 5G/zrakoplovnu komunikaciju,-brzi transport i inteligentnu proizvodnju, te je ključna oprema za masovnu proizvodnju treće-generacije poluvodičkih energetskih uređaja, VCSEL-a i solarnih ćelija.
Parametri
|
Kategorija |
Ključne specifikacije |
CV600 |
CV700 |
|
Konfiguracija podloge |
Dostupne kombinacije vafla (osnovne specifikacije) |
12x4", 6x6", 8x6", 5x8" |
15x4", 8x6", 9x6", 6x8" |
|
Standardni plinski krug (materijali na bazi As/P-) |
MO izvor plinovoda |
8 redaka (6 standardnih + 2 dvostrukih razrjeđenja) |
|
|
Vodovi za hidraulični plin (doping uključen) |
4 retka (2 standardna + 2 dvostruko razrjeđivanje) |
||
|
Standardni plinski krug (nitridni materijali) |
MO izvor plinovoda |
6 linija (5 standardnih + 1 dvostrukih razrjeđenja) |
|
|
Vodovi za hidraulični plin (doping uključen) |
3 reda (2 standardna + 1 dvostruko razrjeđivanje) |
||
|
Osnovni standardni hardver |
Osnovne funkcionalne komponente |
Čisti suhi pretinac za rukavice-bez kisika, stropna kontrola temperature, RF komplet za grijanje, nezavisna satelitska kontrola temperature,-in situ R/T nadzor, više-mehanizam za ubrizgavanje plina |
|
|
Tipka Dodatna konfiguracija |
Osnovne stavke nadogradnje |
1. Robotska ruka za satelitski prijenos ploča,-nadzor iskrivljenja na licu mjesta |
|
|
Tipična izvedba procesa |
Ujednačenost dopinga |
GaAs:Si Manje od ili jednako 0,87%; GaAs:C Manje od ili jednako 4,53% |
|
|
Ujednačenost komponenti |
GaInP/AlGaInP MQW std Manje od ili jednako 0,02%; InGaAs/AlGaAs MQW std Manje od ili jednako 0,022% |
||
|
Ujednačenost debljine |
GaInP bulk std Manje od ili jednako 0,6% |
||
|
Izvedba rasutog materijala |
Rasuti GaAs: koncentracija BG ＜1×10¹⁵cm⁻³, pokretljivost 7210 cm²/V-s |
||
|
InP bulk: GK koncentracija od samo 1,45×10¹³cm⁻³ |
|||
FAQ
FAQ
P: Koju osnovnu tehnologiju serija usvaja?
O: Dvostruka rotacija planetarnog-satelita, s ujednačenošću razine-pločice-za više-rast pločice.
P: Koje materijale može uzgajati?
A: 2. -gen (arsenidi/fosfidi) i 3.-gen (nitridi/SiC) poluvodiči.
P: Koja je razlika između CV600 i CV700?
O: CV700 je model velikog-kapaciteta s većim kapacitetom nosivosti podloge; osnovne specifikacije su dosljedne.
P: Je li oprema certificirana za sigurnost?
O: Da, ima međunarodne certifikate SEMI-S2/SEMI-S6.
P: Podržava li prilagodbu?
O: Da, plinski vodovi, komponente za nadzor, termostatske kupke mogu se prilagoditi/nadograditi.
P: Koje su njegove prednosti masovne proizvodnje?
O: Iskorištenje vodećeg izvora plina, izvrsna ujednačenost, jednostavno rukovanje/održavanje.
P: Koji je osnovni hardver standardno opremljen?
O: Pretinac za rukavice-bez kisika,-nadzor R/T na licu mjesta, neovisna kontrola temperature satelitske ploče, komplet za RF grijanje itd.
P: Koja su njegova glavna područja primjene?
O: Nova energija, 5G/zrakoplovna mreža,-brzi transport, pametna proizvodnja; jezgra za 3. -gen poluvodičke energetske uređaje/VCSEL/solarne ćelije.
Popularni tagovi: industrijski mocvd sustav, kineski proizvođači, dobavljači industrijskog mocvd sustava
