Pregled proizvoda
Prilagođeno rješenje, više-funkcionalni ionski implanter prilagođena je-platforma za ionsku implantaciju. Ova oprema namijenjena istraživačkim institutima, sveučilištima i proizvodnim linijama poluvodiča s posebnim-serijama-procesa, podržava i plinovite i čvrste izvore iona. Ciljna komora se može konfigurirati s načinima implantacije pri visokoj-temperaturi i niskoj{7}}temperaturi. Vrlo je prilagodljiv za modifikaciju materijala, napredno-istraživanje materijala, pilot-proizvodnju poluvodiča i posebnu-implantaciju uzoraka za nepravilne male-podloge. Platforma podržava personalizirani hardver i prilagodbu funkcija u skladu s-specifičnim zahtjevima procesa kupca.
Prednosti
Visoko prilagodljiva arhitektura: Fleksibilna konfiguracija izvora iona, ciljne komore, držača pločica i modula-linijske linije za usklađivanje s različitim ne-standardnim zahtjevima procesa. Za ciljnu komoru dostupni su i visoko{3}}temperaturni i kriogeni načini implantacije.
Kompatibilnost s dvo-modalnim-izvorom iona: Podržava rad s plinovitim izvorom i čvrstim izvorom, pokrivajući širok raspon vrsta ionskih implantata za znanost o materijalima i istraživanje i razvoj poluvodiča.
Široka prilagodljivost supstratu: radi sa standardnim pločicama od 4-/6 inča kao i s nepravilnim malim komadima, eliminirajući ograničenja u faktoru oblika uzorka za laboratorijska istraživanja.
Široki raspon podešavanja temperature-pločice: Podržava procesnu temperaturu od sobne temperature do 550 stupnjeva, a izborna ciljna komora za hlađenje može se konfigurirati na zahtjev za eksperimente-s materijalima osjetljivim na temperaturu.
Prilagođen-korisniku za scenarije istraživanja i razvoja: Pojednostavljeno postavljanje receptura, praktično otklanjanje pogrešaka-linije i fleksibilno šaržno ili-injektiranje jednog-uzorka, dobro-pogodno za akademsko istraživanje i-malu{4}}pilot proizvodnju.
Prijave
Akademsko istraživanje i podučavanje: sveučilišni laboratoriji, istraživački institut-znanstveni eksperimenti
Modifikacija materijala: modifikacija metala, keramike, polimera i novih funkcionalnih materijala-ionskom zrakom
Pilot proizvodnja posebnih poluvodiča: probna proizvodnja male-serijske spojeve-poluvodiča
Prilagođeni posebni-proces implantacije za nepravilne uzorke male-veličine
Parametri
|
Artikal |
Specifikacija |
|
Wafer / veličina uzorka |
6 inča, 4 inča ili nepravilni mali komadi |
|
Energetski raspon (jedno punjenje) |
30-200 keV |
|
Vrste implantata |
P, B, As, Fe, H, He i drugi prilagođeni ioni |
|
Procesna temperatura pločice |
RT-550 stupnjeva; rashladna ciljna komora opcija na zahtjev |
FAQ
P: Za koje kupce je višenamjenski implantator Customized Solution uglavnom namijenjen?
O: Orijentiran je na sveučilišta, znanstveno-istraživačke institute i male pilot proizvodne linije poluvodiča za specijalne procese. Usredotočen je na istraživanje i razvoj i probni rad malih serija, a ne na masovnu proizvodnju velikih količina uobičajenih IC tvornica.
P: Može li ovaj stroj obraditi nestandardne nepravilne male uzorke?
O: Da. Osim standardnih pločica od 4 i 6 inča, podržava nepravilne uzorke male veličine. Držači uzoraka mogu se prilagoditi prema dimenzijama uzorka kupca.
P: Koje su mogućnosti temperature dostupne tijekom implantacije?
O: Standardna konfiguracija podržava implantaciju visoke temperature RT 550 stupnjeva. Rashladna ciljna komora za proces niske temperature može se dodati kao prilagođena opcija.
P: Koje načine rada izvora iona podržava oprema?
O: Kompatibilan je s izvorom plinovitih iona i izvorom čvrstih iona, pokriva B, P, As, Fe, H, He i druge vrste iona; dodatne vrste iona mogu se realizirati prilagođenom modifikacijom.
P: Može li surađivati s drugim SEMICORE ZKX proizvodnim implantatorima?
O: Da. Može raditi zajedno s CIP serijom srednje struje, CIC serijom visoke struje, CIE 8000 implantatorima visoke energije. Prilagođena platforma može se koristiti za prethodna istraživanja i istraživanje recepata prije masovne proizvodnje na proizvodnoj opremi.
P: Koje se usluge mogu dobiti za ovu prilagođenu platformu?
O: SEMICORE ZKX pruža prilagodbu sheme, instalaciju opreme i puštanje u pogon, nabavu rezervnih dijelova, tehničku podršku na licu mjesta i pomoćnu uslugu istraživanja procesa za projekte usmjerene na istraživanje.
Popularni tagovi: sic ion implanter, Kina sic ion implanter proizvođači, dobavljači
